CM101维修手册 - 第141页
CM101-D 维修手册 1.6 560 小时检查一次 ( 每月一次 ) Pa ge 1- 89 8. 关闭安全盖。 9. 将伺服开关置于 ON ( I ) 状态。 10. 按操作面板上的 UNLOCK + [ 支撑销更换 下降 ] 键。 • 基板支撑块下降到原点 。 11. 按操作面板的 UNLOCK + [ 传送带中间位 置 ] 键。 ∗ 确认无支撑销之后再操 作。 • 基板传送带的可移动一 侧的轨道将滑动到中间 位置。 12. 将…
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小时检查一次
(
每月一次
)
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4.
将伺服开关置于
OFF (O)
状态。
5.
打开安全盖。
6.
在线阵照相机的上面加盖棉纱布等物。
•
作业中防止灰尘进入到玻璃内。
7.
压下锁定杆，将基板支撑块向外侧拔出。
∗
请用双手慢慢地拔出。
∗
注意勿让线阵照相机
(LED
照明上
)
落上灰尘
或遭到碰撞。
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4X3C-411P
锁定杆
EJM5B-028P
棉纱布
(
线性照相机的上面
)
基板支撑块
EJM5B-C-MMC01-A04-00
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小时检查一次
(
每月一次
)
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8.
关闭安全盖。
9.
将伺服开关置于
ON ( I )
状态。
10.
按操作面板上的
UNLOCK
+
[
支撑销更换
下降
]
键。
•
基板支撑块下降到原点。
11.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
传送带中间位
置
]
键。
∗
确认无支撑销之后再操作。
•
基板传送带的可移动一侧的轨道将滑动到中间
位置。
12.
将伺服开关置于
OFF (O)
状态。
13.
打开安全盖。
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下降
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(
每月一次
)
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14.
将润滑脂注入到调整基板传送带宽度的滚
珠丝杠
以及调整宽度的线性轴承
上。
•
使用润滑脂
: MP
润滑脂
2S
请使用润滑脂枪从润滑脂注入口
(
可动侧导轨
)
注油。
:
挤压
1
次
(
约
0.9 cm
3
)
请在位于中间位置轴的两侧涂敷润滑脂。
15.
关闭安全盖。
16.
将伺服开关置于
ON ( I )
状态。
17.
按
[
宽调整
]
键。
18.
按操作面板上的
UNLOCK
+
[
连续动作
]
键。
•
基板传送带的可滑动一侧的轨道将在宽度调整
轴的整个行程上反复移动，由此，润滑脂将被
涂抹到调整宽度的滚珠丝杠以及调整宽度的线
性轴承所有部位上。
(
进行
3
次往返移动后自动
停止。
)
19.
按操作面板上的
UNLOCK
+
[
支撑销更换
上升
]
键。
•
基板支撑块上升到交换位置。
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