CM101维修手册 - 第173页

CM101-D 维修手册 1.6 560 小时检查一次 ( 每月一次 ) Page 1-1 21 1.6.7 基板传送带的检查 使用工具 皮带张力计 需要时间 40 分钟 要求 该维护作业，应在电源开关处于 ON ( I ) 的状态下进行。在吸头的动作范围内进行作 业时，请务必将伺服开关置于 OFF (O) 后再打开安全盖。 ( 打开安全盖可以切断向 XY 电机的供电 ) 请按以下步骤，检查基 板传送带上的基板搬送皮带 和滚轮上是否有异…

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小时检查一次
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每月一次
)
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B)
吸嘴交换器的清扫
1.
将电源开关置于
OFF (O)
。
•
阻断空气并可使挡板自由动作
。
2.
打开安全盖。
3.
将臂往里面推。
4.
取下吸嘴后用棉纱布等擦拭吸嘴交换器的
上面。
∗
请注意不要在和吸嘴反射板的接触面上留下赃
污。
∗
请确认挡板的缝隙间是否夹住灰尘等异物。
5.
将吸嘴安装到原来的位置上。
6.
关闭安全盖。
7.
将电源开关置于
ON ( I )
。
∗
如果将电源开关置于
ON ( I )
状态，挡板会动，
请注意。
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小时检查一次
(
每月一次
)
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1.6.7
基板传送带的检查
使用工具
皮带张力计
需要时间
40
分钟
要求
该维护作业，应在电源开关处于
ON ( I )
的状态下进行。在吸头的动作范围内进行作
业时，请务必将伺服开关置于
OFF (O)
后再打开安全盖。
(
打开安全盖可以切断向
XY
电机的供电
)
请按以下步骤，检查基板传送带上的基板搬送皮带和滚轮上是否有异常。
∗
进行维护作业时，有必要卸下供料器工作台盖和卷盘座
(
选购件
)
和整体交换台车
(
选购件
)
。
(
“1.2.2
供料器工作台盖的拆卸和安装
”
、
“1.2.3
卷盘座
(
选购件
)
的拆卸和安装
”
、
“1.2.4
整
体交换台车
(
选购件
)
的拆卸和安装
”)
作业工序
1.
皮带的检查
2.
皮带张力的检查
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小时检查一次
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每月一次
)
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1.
皮带的检查
1.
将伺服开关置于
OFF (O)
状态。
2.
打开安全盖。
3.
在各传送带的边缘，用手转动皮带的同时
目视检查。
∗
请确认皮带是否有龟裂和劣化。
4.
关闭安全盖。
5.
将伺服开关置于
ON ( I )
状态。
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