CM101维修手册 - 第184页
CM101-D 维修手册 1.6 560 小时检查一次 ( 每月一次 ) Page 1-1 32 1.6.11 真空泵过滤器的清扫 使用工具 − 需要时间 20 分钟 ∗ 作业过程中注意别碰着 头。 ∗ 进行维护作业时，有必 要卸下供料器 工作台盖和卷盘座 ( 选购件 ) 和整体交换 台车 ( 选购件 ) 。 ( “1.2.2 供料器工作台盖的拆卸和安装 ” 、 “1.2.3 卷盘座 ( 选购件 ) 的拆卸和安装 ” 、 “1.2.4 …
CM101-D
维修手册
1.6 560
小时检查一次
(
每月一次
)
Page 1-131
8.
按操作面板上的
+
[
原点复归
]
。
•
XY
装置将移动到原点位置上。
EJM5B-Mp-0143
8
EJM5B-C-MMC01-A04-00
CM101-D
维修手册
1.6 560
小时检查一次
(
每月一次
)
Page 1-132
1.6.11
真空泵过滤器的清扫
使用工具
−
需要时间
20
分钟
∗
作业过程中注意别碰着头。
∗
进行维护作业时，有必要卸下供料器工作台盖和卷盘座
(
选购件
)
和整体交换台车
(
选购件
)
。
(
“1.2.2
供料器工作台盖的拆卸和安装
”
、
“1.2.3
卷盘座
(
选购件
)
的拆卸和安装
”
、
“1.2.4
整
体交换台车
(
选购件
)
的拆卸和安装
”)
1.
将电源置于
OFF
状态。
∗
请锁定电源开关。
2.
打开装置后面的盖。
下一页
EJM5B-AB
盖
EJM5B-C-MMC01-A04-00
CM101-D
维修手册
1.6 560
小时检查一次
(
每月一次
)
Page 1-133
3.
拆卸过滤器装置，取出过滤器的部件。
4.
使用气枪，清除过滤器部件上的污垢。
•
不可使用有机溶剂。
5.
将过滤器装置按原样组装好。
6.
安装装置后面的盖。
4Z4C-456P
EJM5B-AG
过滤器装置
过滤器部品
O
型环
吸头
O
型环
过滤器套
圆环
EJM5B-AB
盖
EJM5B-C-MMC01-A04-00