CM101维修手册 - 第218页

CM101-D 维修手册 1.10 消耗零件的更换 Page 1-1 66 11. 按操作面板的 + [ 真空泵 ] 。 • 真空泵停止，显示从 ON 变为 OFF 。 12. 按两次功能键 。 [ 戻る ] を 2 回押す。 EJM5B -Ma-0016 11 12 EJM5B- C-MMC01-A05-0 0

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CM101-D
维修手册
1.10
消耗零件的更换
Page 1-165
6.
按操作面板的
+
[
真空泵
]
。
•
真空泵启动，显示从
OFF
变成
ON
。
7.
按操作面板上的
UNLOCK
+
更换后的
pos1
的
[
真空
]
键。
•
显示状态将从
OFF
变为
ON
。
8.
确认更换后的阀门头真空值比
−
10
小。
(
在
部分显示
)
9.
按操作面板
UNLOCK
+
更换后的
pos1
的
[
真空
]
键。
•
显示状态将从
ON
变为
OFF
。
10.
确认更换后的阀门头真空值是否在
±
2
左
右。
(
在
部分显示
)
下一页
EJM5B-Ma-0016
ON
ON
7
6
8
1
EJM5B-Ma-0016
9
10
2
ON
EJM5B-C-MMC01-A05-00
CM101-D
维修手册
1.10
消耗零件的更换
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11.
按操作面板的
+
[
真空泵
]
。
•
真空泵停止，显示从
ON
变为
OFF
。
12.
按两次功能键
。
[戻る]を 2 回押す。
EJM5B-Ma-0016
11
12
EJM5B-C-MMC01-A05-00
CM101-D
维修手册
1.10
消耗零件的更换
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1.10.5
真空阀的更换
(
多功能吸头
)
使用工具
六角扳手
(
尺寸
:
对边
3 mm)
需要时间
10
分钟
更换步骤
多功能吸头每次更换
3
个吸头的真空阀。
∗ 在进行维修作业时有必要拆卸供料器工作台盖、卷盘座
(
选购件
)
以及整体交换台车
(
选购件
)
。
(
“1.2.2
供料器工作台盖的拆卸和安装
”
、
“1.2.3
卷盘座
(
选购件
)
的拆卸和安装
”
、
“1.2.4
整
体交换台车
(
选购件
)
的拆卸和安装
”)
1.
将电源开关置于
OFF (O)
。
∗
请锁上电源开关。
2.
打开安全盖。
3.
将吸头移动到容易操作的位置。
•
移动吸头时，请握住手柄。
4.
卸下固定螺栓，取下吸头盖。
5.
拔出阀的透明配管。
6.
拔出真空传感器吸头。
7.
切断配线的捆扎带，取下阀的配线连接器
(
基板上
)
。
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真空传感器吸头
透明配管
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