CM101维修手册 - 第222页
CM101-D 维修手册 1.10 消耗零件的更换 Page 1-1 70 6. 按操作面板上的 + [ 真空泵 ] 。 • 真空泵将会开动,显示 状态也从 OFF 变为 ON 状态。 7. 按操作面板上的 + pos1 的 [ 真 空 ] 。 • 显示状态将从 OFF 变为 ON 状态。 8. 确认更换后的阀吸头的真空值是否小于 − 10 。 ( 在 部分上显示 ) 9. 按操作面板上的 + 更换后的 pos 的 [ 真空 ] 。…

CM101-D
维修手册
1.10
消耗零件的更换
Page 1-169
动作确认步骤
1.
将伺服开关置于
OFF (O)
。
2.
在已更换阀的
3
个吸头上安装吸嘴。
3.
将伺服开关置于
ON ( I )
。
4.
按主菜单的
。
•
机器调整菜单画面将被显示。
5.
按
[
输出确认
]
。
•
输出确认画面将被显示。
下一页
EJM6A-Main-0002
4
EJM6A-Ma-0001
5
EJM5B-C-MMC01-A05-00

CM101-D
维修手册
1.10
消耗零件的更换
Page 1-170
6.
按操作面板上的
+
[
真空泵
]
。
•
真空泵将会开动,显示状态也从
OFF
变为
ON
状态。
7.
按操作面板上的
+
pos1
的
[
真
空
]
。
•
显示状态将从
OFF
变为
ON
状态。
8.
确认更换后的阀吸头的真空值是否小于
−
10
。
(
在
部分上显示
)
9.
按操作面板上的
+
更换后的
pos
的
[
真空
]
。
•
显示状态将从
ON
变为
OFF
状态。
10.
确认更换后的阀吸头的真空值是否为
±
2
左右。
(
在
部分上显示
)
∗
对
pos2
、
pos3
也同样重复进行步骤
7. ~ 10.
的
操作。
下一页
EJM5B-Ma-0018
6
7
1
8
ON
ON
EJM5B-Ma-0018
9
2
10
ON
EJM5B-C-MMC01-A05-00

CM101-D
维修手册
1.10
消耗零件的更换
Page 1-171
11.
按操作面板上的
+
[
真空泵
]
。
•
真空泵将会停止运行,显示状态也从
ON
变为
OFF
状态。
12.
按两次功能键
。
EJM5B-Ma-0018
12
11
EJM5B-C-MMC01-A05-00