CM101维修手册 - 第227页
CM101-D 维修手册 1.10 消耗零件的更换 Page 1-1 75 8. 按操作面板的 + [ 真空泵 ] 。 • 真空泵停止显示从 ON 变为 OFF 。 9. 按操作面板上的 UNLOCK + [ 清扫吹气 ] 键。 • 显示状态将从 ON 变为 OFF 。 10. 通过操作步骤 9. ，确认喷出的声音变小。 ∗ 当因周围的噪音等无法 听到喷出声时，请打开 安全盖，用手指接近吸 嘴尖端确认喷出的压力 变小。 11. 按操作面…
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维修手册
1.10
消耗零件的更换
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4.
按操作面板的
+
[
真空泵
]
。
•
真空泵启动显示从
OFF
变为
ON
。
5.
按操作面板上的
UNLOCK
+
pos1
的
[
真空
破坏
]
键。
•
显示状态将从
OFF
变为
ON
状态，从吸嘴处将
喷出破坏真空压力的空气。
6.
按操作面板上的
UNLOCK
+
[
清扫吹气
]
键。
•
显示状态将从
OFF
变为
ON
，从吸嘴处将喷出
清扫吹气压力的空气。
7.
通过操作步骤
6.
，确认喷出的声音变大。
∗
当因周围的噪音等无法听到喷出声时，请打开
安全盖，用手指接近吸嘴尖端喷出的压力变大。
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EJM5B-Ma-0014
ON
ON
5
4
EJM5B-Ma-0014
ON
ON
6
ON
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1.10
消耗零件的更换
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8.
按操作面板的
+
[
真空泵
]
。
•
真空泵停止显示从
ON
变为
OFF
。
9.
按操作面板上的
UNLOCK
+
[
清扫吹气
]
键。
•
显示状态将从
ON
变为
OFF
。
10.
通过操作步骤
9.
，确认喷出的声音变小。
∗
当因周围的噪音等无法听到喷出声时，请打开
安全盖，用手指接近吸嘴尖端确认喷出的压力
变小。
11.
按操作面板上的
UNLOCK
+
pos1
的
[
真空
破坏
]
键。
•
显示状态将从
ON
变为
OFF
，吸嘴停止喷出空
气。
12.
按两次功能键
。
EJM5B-Ma-0014
ON
9
8
EJM5B-Ma-0014
11
12
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1.10
消耗零件的更换
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1.10.7
基板搬送皮带·滚轮的更换
如果在定期检查时发现异常，请按以下步骤更换基板搬送皮带和滚轮。
∗
进行维护作业时，有必要卸下供料器工作台盖和卷盘座
(
选购件
)
和整体交换台车
(
选购件
)
。
(
“1.2.2
供料器工作台盖的拆卸和安装
”
、
“1.2.3
卷盘座
(
选购件
)
的拆卸和安装
”
、
“1.2.4
整
体交换台车
(
选购件
)
的拆卸和安装
”)
1.
基板搬送皮带的更换
1.
将电源置于
OFF (O)
状态。
∗
请锁定电源开关。
2.
拉拽皮带将其取下。
∗
有必要更换滚轮时，请参照后述的滚轮更换步
骤进行更换。
3.
换上新皮带。
∗
请参照左图，将皮带安装到各皮带轮上。
从机器的正面看到的配置
传送带
上图的编号
长度 [mm]
1237
1775
1237
4.
调整皮带的张力。
( “1.6.6
基板传送带的检查
”)
5.
将电源开关置于
ON ( I )
。
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