CM101维修手册 - 第228页
CM101-D 维修手册 1.10 消耗零件的更换 Page 1-1 76 1.10.7 基板搬送皮带·滚轮的更换 如果在定期检查时发现 异常，请按以下步骤更换基 板搬送皮带和滚轮。 ∗ 进行维护作业时，有必 要卸下供料器 工作台盖和卷盘座 ( 选购件 ) 和整体交换 台车 ( 选购件 ) 。 ( “1.2.2 供料器工作台盖的拆卸和安装 ” 、 “1.2.3 卷盘座 ( 选购件 ) 的拆卸和安装 ” 、 “1.2.4 整 体交换台车 …
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1.10
消耗零件的更换
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8.
按操作面板的
+
[
真空泵
]
。
•
真空泵停止显示从
ON
变为
OFF
。
9.
按操作面板上的
UNLOCK
+
[
清扫吹气
]
键。
•
显示状态将从
ON
变为
OFF
。
10.
通过操作步骤
9.
，确认喷出的声音变小。
∗
当因周围的噪音等无法听到喷出声时，请打开
安全盖，用手指接近吸嘴尖端确认喷出的压力
变小。
11.
按操作面板上的
UNLOCK
+
pos1
的
[
真空
破坏
]
键。
•
显示状态将从
ON
变为
OFF
，吸嘴停止喷出空
气。
12.
按两次功能键
。
EJM5B-Ma-0014
ON
9
8
EJM5B-Ma-0014
11
12
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1.10
消耗零件的更换
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1.10.7
基板搬送皮带·滚轮的更换
如果在定期检查时发现异常，请按以下步骤更换基板搬送皮带和滚轮。
∗
进行维护作业时，有必要卸下供料器工作台盖和卷盘座
(
选购件
)
和整体交换台车
(
选购件
)
。
(
“1.2.2
供料器工作台盖的拆卸和安装
”
、
“1.2.3
卷盘座
(
选购件
)
的拆卸和安装
”
、
“1.2.4
整
体交换台车
(
选购件
)
的拆卸和安装
”)
1.
基板搬送皮带的更换
1.
将电源置于
OFF (O)
状态。
∗
请锁定电源开关。
2.
拉拽皮带将其取下。
∗
有必要更换滚轮时，请参照后述的滚轮更换步
骤进行更换。
3.
换上新皮带。
∗
请参照左图，将皮带安装到各皮带轮上。
从机器的正面看到的配置
传送带
上图的编号
长度 [mm]
1237
1775
1237
4.
调整皮带的张力。
( “1.6.6
基板传送带的检查
”)
5.
将电源开关置于
ON ( I )
。
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消耗零件的更换
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2.
滚轮的更换
在更换基板传送带的基板搬送滚轮时，请在卸下搬送皮带的状态下进行。
1.
用六角扳手或十字螺丝刀卸下基板搬送滚
轮。
2.
安装新的基板搬送滚轮。
3.
挂上基板搬送皮带，调节搬送皮带的张力。
( “1.6.6
基板传送带的检查
”)
:
十字螺丝刀
:
六角扳手
左搬送部
贴装部
右搬送部
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