CM101维修手册 - 第233页
CM101-D 维修手册 1.10 消耗零件的更换 Page 1-1 81 3. 卸下与真空泵相连接的管 ( 黑色 3 根 ) 。 4. 卸下固定真空泵基础的螺栓 ( 左图 部分 6 处 ) 。 5. 卸下连接器 (A5) 。 6. 握住把手向外侧拉出，卸下真空泵。 下一页 EJM5B -020P 管 ( 黑色 3 根 ) EJM5B -019P EJM5B -019P EJM5B- C-MMC01-A05-0 0
CM101-D
维修手册
1.10
消耗零件的更换
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1.10.9
真空泵的更换
使用工具
十字螺丝刀·六角扳手
(
尺寸
:
对边
5 mm)
需要时间
60
分钟
真空压的降低会成为元件吸着错误的原因。为了保持真空压的稳定，请定期更换真空泵。
∗
作业中，请注意不要碰头。
∗
进行维护作业时，有必要卸下卷盘座
(
选购件
)
和整体交换台车
(
选购件
)
和直接托盘供料器
DT50S-20 (
选购件
)
。
(
“1.2.3
卷盘座
(
选购件
)
的拆卸和安装
”
、
“1.2.4
整体交换台车
(
选购件
)
的拆卸和安装
”)
1.
将电源置于
OFF (O)
状态。
∗
请锁定电源开关。
2.
卸下本机后面的盖。
•
使用十字螺丝刀卸下螺栓。
下一页
EJM5B-AB
盖
EJM5B-C-MMC01-A05-00
CM101-D
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1.10
消耗零件的更换
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3.
卸下与真空泵相连接的管
(
黑色
3
根
)
。
4.
卸下固定真空泵基础的螺栓
(
左图
部分
6
处
)
。
5.
卸下连接器
(A5)
。
6.
握住把手向外侧拉出，卸下真空泵。
下一页
EJM5B-020P
管
(
黑色
3
根
)
EJM5B-019P
EJM5B-019P
EJM5B-C-MMC01-A05-00
CM101-D
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1.10
消耗零件的更换
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通知
在打开配电部之前，请务必将机器主体的电源置于
OFF (O)
。
卸下与配电部相连接的配线
(4
根
)
。
请注意不要弄错配线的序号。如果配线的序号错误，真空泵电机有可能发生逆转。
7.
打开取出的真空泵配电部。
8.
卸下与配电部相连接的配线
(4
根
)
，连接
好新的真空泵配线。
∗
连接时，请注意要使配线的符号
(U,V,W)
和端
子台的符号
(U,V,W)
一致。
9.
安装新的真空泵。
10.
固定连接器。
下一页
EJM6A-460P
EJM6A-461P
配线
端子台
EJM5B-C-MMC01-A05-00