CM101维修手册 - 第236页
CM101-D 维修手册 1.10 消耗零件的更换 Page 1-1 84 = 备忘录 = EJM5B- C-MMC01-A05-0 0
CM101-D
维修手册
1.10
消耗零件的更换
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11.
用螺栓固定真空泵
(
左图
部分
6
处
)
。
12.
将管
(
黑色
3
根
)
连接到真空泵上。
13.
安装本机后面的盖。
•
使用十字螺丝刀安装螺栓。
14.
将电源开关置于
ON ( I )
。
EJM5B-AB
盖
EJM5B-020P
管
(
黑色
3
根
)
EJM5B-C-MMC01-A05-00
CM101-D
维修手册
1.10
消耗零件的更换
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=
备忘录
=
EJM5B-C-MMC01-A05-00
CM101-D
维修手册
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2.
2.
机器参数
“
机器参数
”
是用校准等方法修改每台机器的个体差异的值。另外，这里所说的
“
机器参数示教
”
是调整及校准设定的各
“
机器参数
”
。
该操作请在以下条件下进行。
移置本机时
更换装置部件时
地面水平
(
水准
)
发生变化时
周围温度发生显著变化时
EJM5B-C-MMC02-A00-00