CM101维修手册 - 第414页

CM101-D 维修手册 3.2 检查和对策 Pa ge 3- 38 3.2.2 真空泵发热异常、环状负荷温度 异常 1. 确认冷却扇是否 在旋转 请按下 [ 输出确认 ] 。 请确认是否从冷却扇送 风口向外排风。 ( 无需卸下主体盖。 ) 风扇位于本机后面。 ( 参照下图 ) 如果冷却扇送风口未向 外排风，则可能冷却扇损坏 。需要进行更换，请与本公 司联系。  将真空泵置于 ON 的步骤 1. 按机器调节菜单中的 [ 输出确认 ] …

100%1 / 509
CM101-D
维修手册
3.2
检查和对策
Page 3-37
压力开关的设定方法
1.
键锁定的解除
① 按
[SET]4
秒以上，将显示键锁定的设定
“Loc”
。
②
按开关
∆∇
使
“UnL”
显示，然后再按
[SET]
，解除键锁定。
2.
压力的设定
①
在测定模式时按
[SET]
，将变为设定值显示。
②
“P_1”
和现在的设定值将交替闪炼显示。
③
按
[SET]
，将显示如下设定值。
④ 按开关
∆∇
，将变为数值变更模式。
(
请参照数值设定的方法
)
⑤ 将
LCD
显示如下设定。
“P_1” “.450”
“P_2” “.600”
“H” (
应差，动作范围的差异
) “.050”
3.
数值设定的方法
①
输入压力设定等数值时，按开关
∆∇
，进入设定值变更模式后第
1
位将会闪炼。
② 按开关
∆∇
，任意设定数值。
(
输入数值中如果
10
秒以上不按按钮，该数值将被自动设定，
然后恢复到设定值显示。
)
③ 按
[SET]
，进一位的数值将闪炼。
(
最大位数为
0
时，
或
将会闪炼。
代表正
0
。
代表负
0
。
)
(
在最大位数上按
[SET]
时，第
1
位数将会闪炼。
)
④
按
[SET]1
秒以上，将恢复到设定值显示。
4.
键锁定的设定
① 按
[SET]4
秒以上，将显示键锁定的设定
“UnL”
。
②
按开关
∆∇
，使
“Loc”
显示，按
[SET]
设定键锁定。
EJM5B-C-MMC03-A01-00
CM101-D
维修手册
3.2
检查和对策
Page 3-38
3.2.2
真空泵发热异常、环状负荷温度异常
1.
确认冷却扇是否在旋转
请按下
[
输出确认
]
。
请确认是否从冷却扇送风口向外排风。
(
无需卸下主体盖。
)
风扇位于本机后面。
(
参照下图
)
如果冷却扇送风口未向外排风，则可能冷却扇损坏。需要进行更换，请与本公司联系。
将真空泵置于
ON
的步骤
1.
按机器调节菜单中的
[
输出确认
]
。
2.
按
[
真空泵
]
。
•
显示从
OFF
切换为
ON
，真空泵开始旋转。
∗
作业结束后，请按相同步骤将真空泵置于
OFF
。
EJM5B-AB
EJM5B-019P
冷却扇送风口
(
卸下盖后的状态
)
EJM5B-Ma-0014
ON
2
EJM5B-C-MMC03-A01-00
CM101-D
维修手册
3.2
检查和对策
Page 3-39
2.
设定热继电器的保护电流值
① 通常只进行复位操作。
(
参照下图
)
复位热继电器时，请复位背面的复位开关。
② 复位后如果还发生真空泵温度异常，请设定保护电流值。
(
参照下图
)
将底座内热继电器保护电流的值，用十字螺丝刀设定为
2.4 A
。
设定后请按复位开关进行复位。
热继电器
(
卸下盖后的状态
)
如通过上述操作无法解除异常时，请与本公司联系。
EJM5B-050P
复位开关
EJM5B-AB
EJM5B-C-MMC03-A01-00
EJM5B-050P
EJM5B-AB
保护电流设定值