CM101维修手册 - 第416页
CM101-D 维修手册 3.2 检查和对策 Pa ge 3- 40 3.2.3 CPU 外壳温度异常 1. 确认冷却扇是否 在旋转 请确认是否从冷却扇送 风口向外排风。 ( 无需卸下主体盖。 ) 冷却扇位于本机正面 。 ( 参照下图 ) 冷却扇的出风口没有向 外送风时，可判断是冷却扇 出现故障。需进行更换，届 时请与本公司联系。 CPU BOX 冷却扇送风口 (CPU BOX ( 主体 ) 的底面 ) 将真空泵置于 ON 的步骤请参照…
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3.2
检查和对策
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2.
设定热继电器的保护电流值
① 通常只进行复位操作。
(
参照下图
)
复位热继电器时，请复位背面的复位开关。
② 复位后如果还发生真空泵温度异常，请设定保护电流值。
(
参照下图
)
将底座内热继电器保护电流的值，用十字螺丝刀设定为
2.4 A
。
设定后请按复位开关进行复位。
热继电器
(
卸下盖后的状态
)
如通过上述操作无法解除异常时，请与本公司联系。
EJM5B-050P
复位开关
EJM5B-AB
EJM5B-C-MMC03-A01-00
EJM5B-050P
EJM5B-AB
保护电流设定值
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检查和对策
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3.2.3 CPU
外壳温度异常
1.
确认冷却扇是否在旋转
请确认是否从冷却扇送风口向外排风。
(
无需卸下主体盖。
)
冷却扇位于本机正面。
(
参照下图
)
冷却扇的出风口没有向外送风时，可判断是冷却扇出现故障。需进行更换，届时请与本公司联系。
CPU BOX
冷却扇送风口
(CPU BOX (
主体
)
的底面
)
将真空泵置于
ON
的步骤请参照
“3.2.2
真空泵热异常、环状负荷温度异常
”
。
3.2.4
基板识别错误
1.
通过微调把相机移动至识别标记的位置，并进行再识别
(
图
1)
确认错误画面，识别标记不在识别画面的中央时，请用操作面板的
+
把识别标记移至
中央，按下操作面板的
+
[
再识别
]
。运转重新开始。
2.
清扫识别相机或基板后进行再识别
(
图
2)
确认错误画面，识别标记脏污时要擦拭干净，请按下操作面板的
+
[
再识别
]
。运转重新开
始。
3.
输入正确的坐标之后进行再识别
∗
再次出现识别错误时，
[
无识别
]
和
[
通过
]
被追加显示出来。
请选择其中的一个。
(
图
3)
想中止自动运转和示教时按下
。
EJM5B-AA
444C-454E
EJM5B-C-MMC03-A01-00
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3.2
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(
图
1) (
图
2)
(
図
3)
(
图
3)
[
再识别
]
再次进行基板识别。
[
无识别
]
不经识别直接进入到下一个动作。
[
通过
]
自动运转时，使被识别出的错误基板通过。
[
图像移动率
]
设定按下按钮
时的一次移动量。
低
: 0.01 mm,
中
: 0.1 mm,
高
: 2.00 mm
[ (
红色箭头
)]
把识别画面向
(
红色箭头
)
的方向移动。
EJM4A-Pr-0008
EJM4A-Pr-0006
EJM4A-Pr-0007
1
2
EJM5B-C-MMC03-A01-00