CM101维修手册 - 第439页
CM101-D 维修手册 3.5 负荷一览表 Pa ge 3- 63 (2/2) 模块名称 No. 名称 配置位置 备注 PM1 宽度调节驱动 ( 主 ) A M1A 基板搬送 ( 固定侧 1) A M3A 基板搬送 ( 固定侧 3) A M4A 基板搬送 ( 固定侧 4) A M7A 基板搬送 ( 可动侧 1) A M9A 基板搬送 ( 可动侧 3) A 基板传送带 M10A 基板搬送 ( 可动侧 4) A EJM5B- C-MMC0…
CM101-D
维修手册
3.5
负荷一览表
Page 3-62
3.5
负荷一览表
3.5.1
电机一览表
(M)
标准部
(1/2)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
M-S2
Y 轴驱动
AF
M-S3
Y 轴驱动
AF
FANP1
真空泵冷却扇
A
M9
真空泵
A
FAN3
Y1
轴电机用冷却扇电机
AF
主体部
FAN5
Y2
轴电机用冷却扇电机
AF
X
轴装置
M-S1
X
轴驱动
AF
M-Z1AF
NP1 Z
轴驱动
AF
M-Z2AF
NP2 Z
轴驱动
AF
M-Z3AF
NP3 Z
轴驱动
AF
M-Z4AF
NP4 Z
轴驱动
AF
M-Z5AF
NP5 Z
轴驱动
AF
M-Z6AF
NP6 Z
轴驱动
AF
M-Z7AF
NP7 Z
轴驱动
AF
M-Z8AF
NP8 Z
轴驱动
AF
M-Z9AF
NP9 Z
轴驱动
AF
M-Z10AF
NP10 Z
轴驱动
AF
M-Z11AF
NP11 Z
轴驱动
AF
M-Z12AF
NP12 Z
轴驱动
AF
M-T1AF
θ
轴驱动
AF
FAN1AF
Z
轴电机冷却扇
AF
移载吸头
(
高速吸头
12
吸嘴
)
FAN2AF
CPU
冷却扇
AF
M-Z1AF
NP1 Z
轴驱动
AF
M-Z2AF
NP2 Z
轴驱动
AF
M-Z3AF
NP3 Z
轴驱动
AF
M-Z4AF
NP4 Z
轴驱动
AF
M-Z5AF
NP5 Z
轴驱动
AF
M-Z6AF
NP6 Z
轴驱动
AF
M-Z7AF
NP7 Z
轴驱动
AF
M-Z8AF
NP8 Z
轴驱动
AF
M-T1AF
θ
轴驱动
AF
移载吸头
(
通用吸头
LS8
吸嘴
)
FAN1
Z
轴电机冷却扇
AF
M-T1AF
θ
轴驱动
AF
M-T2AF
θ
轴驱动
AF
M-T3AF
θ
轴驱动
AF
FAN1
Z
轴电机冷却扇
AF
M-Z1AF
Z
轴驱动
AF
M-Z2AF
Z
轴驱动
AF
移载吸头
(
多功能吸头
3
吸嘴
)
M-Z3AF
Z
轴驱动
AF
EJM5B-C-MMC03-A02-00
CM101-D
维修手册
3.5
负荷一览表
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(2/2)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
PM1
宽度调节驱动
(
主
)
A
M1A
基板搬送
(
固定侧
1)
A
M3A
基板搬送
(
固定侧
3)
A
M4A
基板搬送
(
固定侧
4)
A
M7A
基板搬送
(
可动侧
1)
A
M9A
基板搬送
(
可动侧
3)
A
基板传送带
M10A
基板搬送
(
可动侧
4)
A
EJM5B-C-MMC03-A02-00
CM101-D
维修手册
3.5
负荷一览表
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选购件部分
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
元件排出传送带
M1-NC1
传送带驱动
AF
EJM5B-C-MMC03-A02-00