CM101维修手册 - 第63页
CM101-D 维修手册 1.1 维护的概要 Pa ge 1- 11 每 18000 小时进行一次 (3 年一次 ) 的定期检查项目 < 各类型通用 > No. 对象装置 检查·注油位置 检查·注油内容 指定润滑脂 参照 1 XY 装置 线缆轴承 检查 − 1.9.2 < 高速吸头 (12 吸嘴 ) 、通用吸头 (LS8 吸嘴 )> No. 对象装置 检查·注油位置 检查·注油内容 指定润滑脂 参照 夹具爪 …
CM101-D
维修手册
1.1
维护的概要
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<
高速吸头
(12
吸嘴
)
、通用吸头
(LS8
吸嘴
)>
No.
对象装置
检查·注油位置
检查·注油内容
指定润滑脂
参照
夹具爪
涂敷润滑脂
BARRIERTA
IEL/V
1
吸嘴座
夹具爪压紧用弹簧
涂敷润滑脂
BARRIERTA
IEL/V
1.6.3
吸嘴锥形面
清扫
−
吸嘴反射面
清扫
−
吸嘴尖端部
清扫
−
2
吸嘴
(
选项
)
吸嘴内部
清扫
−
3
吸嘴交换器
(
12
吸嘴用为选购件
)
吸嘴反射板接触面
清扫
−
1.6.4
真空类
检查
−
1.6.14
4
移载吸头
θ
轴皮带
检查
−
1.6.15
<
多功能吸头
(3
吸嘴
)>
No.
对象装置
检查·注油位置
检查·注油内容
指定润滑脂
参照
1
吸嘴座
夹具爪
涂敷润滑脂
BARRIERTA
IEL/V 1.6.5
吸嘴反射板
清扫
−
2
吸嘴
吸嘴尖端部
清扫
−
1.6.6
3
吸嘴交换器
吸嘴反射板接触面
清扫
−
1.6.6
Z
轴滚珠丝杠
注油
MP
润滑脂
2S
1.6.9
4
移载吸头
反射板
清扫
−
1.6.10
每
1500
小时进行一次
(3
个月一次
)
的定期检查项目
No.
对象装置
检查·注油位置
检查·注油内容
指定润滑脂
参照
1
基板支座
支撑装置上限止动器用减震器
检查
−
1.7.1
每
6000
小时进行一次
(1
年一次
)
的定期检查项目
<
各类型通用
>
No.
对象装置
检查·注油位置
检查·注油内容
指定润滑脂
参照
1
主体
真空泵
检查
−
1.8.1
2
彩色触摸屏
背景灯
检查
−
1.8.2
3
基板传送带
宽度调整同步皮带
检查
−
1.8.4
<
多功能吸头
(3
吸嘴
)>
No.
对象装置
检查·注油位置
检查·注油内容
指定润滑脂
参照
1
吸嘴
1006
吸嘴
检查
−
1.8.3
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CM101-D
维修手册
1.1
维护的概要
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每
18000
小时进行一次
(3
年一次
)
的定期检查项目
<
各类型通用
>
No.
对象装置
检查·注油位置
检查·注油内容
指定润滑脂
参照
1
XY
装置
线缆轴承
检查
−
1.9.2
<
高速吸头
(12
吸嘴
)
、通用吸头
(LS8
吸嘴
)>
No.
对象装置
检查·注油位置
检查·注油内容
指定润滑脂
参照
夹具爪
检查
−
夹具爪压紧用弹簧
检查
−
1
移载吸头
吸嘴缓冲用弹簧
检查
−
1.9.1
1.1.4
消耗零件一览表
<
各类型通用
>
No.
名称
参考寿命
备注
参照
1
真空泵
6000
小时
−
1.10.9
2
彩色触摸屏背景灯
6000
小时
−
1.10.1
3
清扫阀
−
−
1.10.6
4
基板搬送皮带
−
−
1.10.7
5
基板搬送滚轮
−
−
1.10.7
6
宽度调整同步皮带
−
−
1.10.8
<
高速吸头
(12
吸嘴
)
、通用吸头
(LS8
吸嘴
)>
No.
名称
参考寿命
备注
参照
1
吹气阀
−
−
1.10.2
2
真空阀
−
−
1.10.4
3
吸嘴缓冲用弹簧
18000
小时
−
1.9.1
4
夹具爪
18000
小时
−
1.9.1
5
夹具爪用弹簧
18000
小时
−
1.9.1
6
吸嘴过滤器
280
小时
−
1.5.1
<
多功能吸头
(3
吸嘴
)>
No.
名称
参考寿命
备注
参照
1
移载吸头过滤器
−
−
1.4.3
2
吹气阀
−
−
1.10.3
3
真空阀
−
−
1.10.5
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维修手册
1.1
维护的概要
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1.1.5
各装置的定期检查项目
定期检查项目是按装置名称分类的。可在检索时使用。
各装置的定期检查项目一览表
<
各类型通用
>
周期
(
时间
)
No.
装置名称
检查·注油位置
检查·注油内容
1 24 140 560 1500 3000 6000 18000
参照
1
压力表
确认气压
1
MR
装置
(
主体部
)
2
排水回收容器
排水的废弃
1.3.1
2
NG
部品排出容器
(
主体部
)
1
箱内部
清扫
1.3.2
1
X
轴滚珠丝杠
注油
2
X
轴线性轴承
注油
3
Y
轴滚珠丝杠
注油
4
Y
轴线性轴承
注油
1.6.2
3
XY
装置
5
线缆轴承
检查
1.9.2
1
彩色触摸屏面
清扫
1.4.1
4
彩色触摸屏
2
背景灯
检查
1.8.2
1 基板支撑块
∗
1
清扫
1.4.4
2
调整宽度的滚珠丝杠
注油
3
调整宽度的线性轴
涂敷润滑脂
1.6.1
4
基板搬送皮带
检查
1.6.7
5
基板检测传感器
清扫
1.6.13
5
基板传送带
6
宽度调整同步皮带
检查
1.8.4
6
固定供料器
1
供料器安装面
清扫
1.4.7
7
卷盘座
(
选购件
)
1
空编带箱
清扫
1.3.3
1
空编带箱
清扫
1.3.3
8
整体交换台车
(
选购件
)
2
供料器安装面
清扫
1.4.7
9
基板座
1
支撑装置上限止动器用
减震器
检查
1.7.1
1
玻璃罩
清扫
1.4.5
10
线阵照相机
2
透镜玻璃罩
清扫
1.4.6
要求
∗
1:
请勿将支撑销·支撑板
(
特殊
)
·示教治具·吸着块
(
特殊
)
等之本公司所指定的
部品以外的东西设置在基板支撑块上。
有可能因与吸头互相干涉而导致破损。
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