CM101维修手册 - 第68页
CM101-D 维修手册 1.1 维护的概要 Pa ge 1- 16 3. XY 装置 4. 彩色触摸屏 EJM5B-A A 彩色触摸屏的表面 EJM5B -059E X 轴滚珠丝杠 Y 轴线性轴承 X 轴线性轴承 Y 轴滚珠丝杠 EJM5B- C-MMC01-A01-0 0
CM101-D
维修手册
1.1
维护的概要
Page 1-15
按装置分类的定期检查位置
定期检查项目是按装置名称分类的。记载在插图上，以便检索时使用。
:
检查
:
清扫
:
涂敷润滑脂·注油
:
更换
<
各类型通用
>
1. MR
装置
2. NG
部件排出容器
EJM4A-022P
箱内部
EJM5B-AB
EJM5B-012P
排水回收容器
压力表
EJM5B-C-MMC01-A01-00
CM101-D
维修手册
1.1
维护的概要
Page 1-16
3. XY
装置
4.
彩色触摸屏
EJM5B-AA
彩色触摸屏的表面
EJM5B-059E
X
轴滚珠丝杠
Y
轴线性轴承
X
轴线性轴承
Y
轴滚珠丝杠
EJM5B-C-MMC01-A01-00
CM101-D
维修手册
1.1
维护的概要
Page 1-17
5.
基板传送带
∗
有
6
个基板检测传感器。
6.
固定供料器
EJM5B-N610044038AA
供料器安装面
EJM5B-054E
宽度调整同步皮带
调整宽度的滚珠丝杠
调整宽度的线性轴
基板搬送皮带
EJM5B-054E
基板检测传感器
基板支撑块
EJM5B-C-MMC01-A01-00