CM101维修手册 - 第70页
CM101-D 维修手册 1.1 维护的概要 Pa ge 1- 18 7. 卷盘座 ( 选购件 ) 8. 整体交换台车 ( 选购件 ) 9. 基板座 支撑装置上限止动器用 减震器 2 处 EJM5B -N610043943AA 支撑装置上限止动器用减震器 EJM5B -N610044041AA 空编带箱 4Z4C-15XYC1AA 供料器安装面 空编带箱 EJM5B- C-MMC01-A01-0 0
CM101-D
维修手册
1.1
维护的概要
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5.
基板传送带
∗
有
6
个基板检测传感器。
6.
固定供料器
EJM5B-N610044038AA
供料器安装面
EJM5B-054E
宽度调整同步皮带
调整宽度的滚珠丝杠
调整宽度的线性轴
基板搬送皮带
EJM5B-054E
基板检测传感器
基板支撑块
EJM5B-C-MMC01-A01-00
CM101-D
维修手册
1.1
维护的概要
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7.
卷盘座
(
选购件
)
8.
整体交换台车
(
选购件
)
9.
基板座
支撑装置上限止动器用减震器
2
处
EJM5B-N610043943AA
支撑装置上限止动器用减震器
EJM5B-N610044041AA
空编带箱
4Z4C-15XYC1AA
供料器安装面
空编带箱
EJM5B-C-MMC01-A01-00
CM101-D
维修手册
1.1
维护的概要
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10.
线阵照相机
11.
切割装置
(
选购件
)
EJM5B-001P
切刀驱动部
4Z4C-414P
透镜玻璃罩
玻璃罩
遮光板
EJM5B-C-MMC01-A01-00