Maintenance Reference-Chinese(SM320) - 第53页

定期检验 3-1 1 主开关的关闭方向 ( 逆时针方向 )  从回转接头（ Rotary joint ）分离出线圈 (Coil Tube ) 。 Air Module V acuum Filter 线圈回转接头  用手逆时针方向转动 V acuum Filter 下端的铝盖 (A) ，分离出铝盖后，交替 Filter Element 。

Samsung Component Placer SM320 Maintenance Reference

（vacuum）生成，所以经常要确认Filter Element，如果Filter Element 已经被污染

请交换。

措施

Vacuum Filter

过滤器压克力盖

Filter Element

 操作示教盒最大限度向前移动磁头组件。

 通过Filter（过滤器）压克力盖，肉眼确认 Filter Element，发现严重变色时，

进行交替作业。

 作业空间不足时，请手动向前移动磁头组件。

 关闭设备前面的主开关。

3-10

定期检验

3-11

主开关的关闭方向

(逆时针方向)

 从回转接头（Rotary joint）分离出线圈(Coil Tube)。

Air Module

Vacuum Filter

线圈

回转接头

 用手逆时针方向转动Vacuum Filter下端的铝盖(A)，分离出铝盖后，交替 Filter

Element。

Samsung Component Placer SM320 Maintenance Reference

(Filter Element : J7458002A)

 按照卸载的逆方向组装。

注意

Vacuum Filter下端的铝盖组装时，请勿施加过度的力，否则

会损伤Filter压克力盖。请用适当的力进行组装。

3.2.3. 压缩气部分（Air部）

检点



用手触觉检查和耳闻漏气检查该部位。

 检查设备各部位的Air 分配器及Solenoid阀和Cylinder的Fitting 连接部是否发生

异常漏气。

 检查 coil tubes是否扭在一起并干涉到其它部品。

3-12