JM-20_MS参数.pdf - 第148页
MS 参数 7- 10 ＜操作⑫ 2/5 ＞ “ 到达真空状况 ” 的测 定结束后， 按下 “ 确认 ” 按 钮，测定 “ 自然破坏状 况 ” 。 计测结束后，会显示以 下图表。
MS
参数
7-9
＜操作⑫1/5＞
如Head上安装有吸嘴，请用简易控制卸下吸嘴。
按下“操作”框内的确认按钮后，即测定“到达真空状况”。
计测结束后，会显示以下图表。
MS
参数
7-10
＜操作⑫2/5＞
“到达真空状况”的测定结束后，按下“确认”按钮，测定“自然破坏状况”。
计测结束后，会显示以下图表。
MS
参数
7-11
＜操作⑫3/5＞
“自然破坏状况”的测定结束后，按下“确认”按钮，测定“加压破坏状况”。
计测结束后，显示以下图表。
＜操作⑫5/5＞
测定结束后，请按下“确认”按钮回到初始画面。