AX501维修手册 - 第462页
C6 4022 593 52701/1 × 1 C.92 AX-301 /501 AX-3/5 08.01 C06.fm C6.4 基板传感器，感光度调节 1. 基板传感器，调节 • 60 mm • 1 …
4022 593 52701/1 × 1
08.01 AX-301/501 AX-3/5 C.91
C06.fm
C6
C6.3 传送，返回原位步骤
C6.3.1 X 轴伺服的返回原位步骤
1. 前提
• maintenance engineer
2. X 轴伺服的返回原位步骤
• Maintenance
• Machine Control
• Transport
• Motion
• Type X
• Home
C6.3.2 Y 轴伺服的返回原位步骤
1. 前提
• maintenance engineer
2. Y 轴伺服的返回原位步骤
• Maintenance
• Machine Control
• Transport
• Motion
• Type Y
• Home
C6.3.3 Z 轴伺服的返回原位步骤
1. 前提
• maintenance engineer
2. Z 轴伺服的返回原位步骤
• Maintenance
• Machine Control
• Transport
• Motion
• Type Z
• Home
4022 593 52701/1 × 1
08.01 AX-301/501 AX-3/5 C.93
C06.fm
C6
C6.5 中间和上部传送升降板的平行度，调节
1. 所需的工具
•
•
• 20 Nm 6
•
300 ± 0.01 mm × 50 ± 0.01 mm × 50 ± 0.01 mm
•
• 10 mm 0.02 mm
• 0.01 mm/m
2. 前提
• B6.1
3. 固定传送梁
M6
×
30 2
1
AX-301 10 AX-501
13 4
1/4
4. 更换内六角螺栓
Z 3
• AX-501 9 AX-301 6
•
•
5. 紧固转轴
• 20 Nm
a
b. 4
3
6. 松开传送梁
7. 将 Z 轴伺服的制动器设为 “关闭 （off）”
8. 提升传送升降单元
5
9. 将 Z 轴伺服的制动器设为 “启用 （on）”。
10. 调平上部传送升降板
1
2
3
4