N7202A029B40_SPG_Parts List_零件部品一覽表 - 第372页
53 基板吸着下受ブロック(M) Board Vacuum Support Block (M) パーツレイアウト Kit No. キット 品番 Kit Name キット名称 KXFX039UA00 セクションNo. PARTS LAYOUT Section No. - - O117 ( KKXFX039UA00-04 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
52
基板吸着下受ブロック(L)
Board Vacuum Support Block (L)
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
KXFX03BZA00
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BLOCK
1
1 N210001415AB
A
BLOCK
3
2 N210001416AC
A
BLOCK
6
3 N210001417AC
A
JOINT
12
4 KXFB0713A01
BLOCK
1
5 KXFB0714A00
BOLT
20
6 KXF09TBAA00 GUTB3-4-20
MAGNET
36
7 N986KM0015 KM-0015
SCREW
36
8 XXE5D8FT
Hexagon socket set screw Cup point M5X8-45H SOB
JOINT
3
9 N510066608AA KQ2L06-M6A
JOINT
9
10 N510066619AA KQ2T06-M6A
JOINT
3
11 KXF091HAA00 CPP15-6B
PACKING
24
12 KXF0DY0XA00 SPGC11
PIN
2
13 KXF0DYJPA00 MS1.5-8
O116
--
( KKXFX03BZA00-06 )
53
基板吸着下受ブロック(M)
Board Vacuum Support Block (M)
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
KXFX039UA00
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O117
( KKXFX039UA00-04 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
53
基板吸着下受ブロック(M)
Board Vacuum Support Block (M)
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
KXFX039UA00
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BLOCK
1
1 N210000930AA
BLOCK
3
2 N210000931AB
BLOCK
2
3 N210001387AB
JOINT
12
4 KXFB0713A01
BOLT
12
5 KXF09TBAA00 GUTB3-4-20
MAGNET
10
6 N986KM0015 KM-0015
SCREW
10
7 XXE5D8VW Hexagon socket set screw Cup point M5X8-A2
JOINT
3
8 N510066608AA KQ2L06-M6A
JOINT
9
9 N510066619AA KQ2T06-M6A
JOINT
3
10 KXF091HAA00 CPP15-6B
PACKING
24
11 KXF0DY0XA00 SPGC11
BLOCK
1
14 KXFB0714A00
PIN
2
15 KXF0DYJPA00 MS1.5-8
O118
--
( KKXFX039UA00-04 )