PTS-NXT3c-07 - 第152页
φ6 φ6 φ6 φ4 φ10 φ4 φ4 φ6 φ6 φ6 φ6 φ6 φ8 φ8 φ12 φ12 φ4 φ10 φ12 φ4 φ8 φ10 φ10 φ8 φ10 φ4 φ4 φ10 φ6 φ6 φ4 ＩＳＥ 30 Ａ −Ｃ 4 Ｌ−Ｐ−ＭＬ ＺＳＥ 30 Ａ −Ｃ 4 Ｌ−Ｐ−ＭＬ ＳＹＪ 512 Ｔ − 5 ＭＯＺ−Ｍ 5 −Ｆ−Ｑ Ｍ5 Ｍ5 ＳＹＪ 512 Ｔ − 5 ＭＯＺ−Ｍ 5 −Ｆ−Ｑ 1／4 1／4 1／4 1／8 …
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PTS- NXT3c- 07
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AS1201F-M5-06-X229
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202
2UGZBE000160
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M6 IIIc-BED 7/
MANUHOLD
CONVEYOR
DUCT
LEFT SIDE
RIGHT SIDE
Y-AXIS FLEXIBLE TRACK
FOR FEEDER OPTION
FOR MODULE FRONT SIDE
WASTE TAPE
DEVICE BASE
XSLIDE
NOZZLE CHANGE
IONIZER
BASE
(AIR SOURSE)
BASE
(AIR SOURSE)
(DEVICE BASE)
PROCESSING UNIT
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G
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I
H
C1
E
D
STANDARD
VACUUM BACK UP PINS (LANE1)
VACUUM BACK UP PINS (LANE2)
INSTALLATIONS
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DUST COLLECT
AIR BLOW ON
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PTS- NXT3c- 07
M6 IIIc-BED 7/
M6 IIIc-ベッド 7/
2UGZBE000160
No. Drg.No. & Code No. QTY Description Rating Remarks
番号 図番 & ｺｰﾄﾞ番号 個数 品名 規格 備考
1 Y60422 1 UNION, HALF
ユニオン ハーフ
KQ2H04-02AS
2 Y60194 1 UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
KQ2VS10-02AS
3 Y60195 2 UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
KQ2L04-01AS
4 Y60199 2 UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
KQ2L06-M5A
5 Y60192 2 UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
KQ2L06-01AS
6 H3145K 1 PLUG
プラグ
KQ2P-04
7 Y60291 1 UNION
ユニオン
KQ2U04-06A
8 Y60205 1 UNION, HALF
ユニオン ハーフ
KQ2H08-00A
9 Y60365 1 UNION
ユニオン
KQ2H10-12A
10 Y60206 2 UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
KQ2L04-06A
11 Y60313 1 UNION
ユニオン
KQ2T10-00A
12 A61138 1 ELBOW
エルボ
KQ2L12-00A
13 Y60203 1 UNION, HALF
ユニオン ハーフ
KQ2S12-03AS
14 Y3023W 1 UNION
ユニオン
PEG12-8
15 Y3027B 1 UNION
ユニオン
PWJ8-6
16 K11578 2 COUPLER
カプラ
KK4P-10E
17 K1158B 2 COUPLER
カプラ
K4-04PM
18 Y60202 2 ELBOW
エルボ
KQ2L10-99A
19 2MGKBC000403 1 JOINT
ジョイント
20 H66819 2 VALVE, SOL
バルブ ＳＯＬ
SYJ512T-5MOZ-M5-F-Q
21 S64379 1 SW, PRESSURE
ＳＷ プレッシャ
ISE30A-C4L-P-ML
22 S64380 1 SW, PRESSURE
ＳＷ プレッシャ
ZSE30A-C4L-P-ML
23 A3033A 3 PLUG
埋栓
PT1/4
24 2MGTBC001604 1 MANIFOLD, AIR
マニホールド エアー
25 A3042A 2 PLUG
埋栓
M-5P
26 K68769 1 CONTROLLER, SPEED
コントローラ スピード
AS1201F-M5-06-X229
27 A3034A 3 PLUG
埋栓
PT1/8
28 2MGKBC000101 1 JOINT
ジョイント
29 A61009 2 ELBOW
エルボ
KQ2L12-99A
30 Y60374 1 UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
KQ2LU06-01AS
31 Y60440 1 UNION
ユニオン
KQ2T10-08A
34 Y60337 1 UNION
ユニオン
KQ2T04-06A
35 H3145L 1 PLUG
プラグ
KQ2P-06
41 K1161W 1 COUPLER
カプラ
CPPE7-01
OPTION PARTS WHEN VACUUM BACK UP PINS
42 Y3024A 1 UNION
ユニオン
PMF6-01
OPTION PARTS WHEN VACUUM BACK UP PINS
43 Y3016B 1 UNION
ユニオン
PLLJ6
OPTION PARTS WHEN VACUUM BACK UP PINS
44 Y60346 1 UNION
ユニオン
KQ2H06-02AS
OPTION PARTS WHEN VACUUM BACK UP PINS
51 S5026S 1 SOCKET
ソケット
KK2S-06E
52 S5026S 1 SOCKET
ソケット
KK2S-06E
101 2MGZBE005401 1 TUBE
チューブ
102 2MGZBE004000 1 TUBE
チューブ
103 2MGZBE004101 1 TUBE
チューブ
104 2MGZBE004201 1 TUBE
チューブ
105 2MGZBE004300 1 TUBE
チューブ
106 2MGZBE004401 1 TUBE
チューブ
107 2MGZBE004500 1 TUBE
チューブ
108 2MGZBE004600 1 TUBE
チューブ
109 2MGTBA002701 1 TUBE
チューブ
110 2MGZBE004700 1 TUBE
チューブ
111 2MGZBE004801 1 TUBE
チューブ
112 2MGZBE006600 1 TUBE
チューブ
153
PTS- NXT3c- 07