PTS-NXT3c-07 - 第677页
NAME T I T L E DRAWING No. 部品配置図 PARTS ARRANGEMENT 2 RG TB C0 1 76 01 LCRユニット LCR UNIT TYPE NXTⅢ 1 1 FUJI SECRET アドレス 信 号 名 / 部 品 名 記号 品 名 品 目 端 末 加 工 図 番 備 考 No. A D D R E SS SI GN AL N AM E / PA R TS N AM E S Y M B O L…

NAME
TITLE
DRAWING No.
部品配置図
PARTS ARRANGEMENT
2RGZBC005602
シングルコンベア
SINGLE CONVEYOR
TYPE
NXTⅢc
3
3
FUJI SECRET
アドレス 信 号 名 / 部 品 名 記号 品 名 品 目 端 末 加 工 図 番 備 考
No.
ADDRESS SIGNAL NAME/PARTS NAME SYMBOL NAME ITEM
TERMINAL PROCESSING DIAGRAM
NOTE
Z0センサ センサ タッチ
2RGZCA0001** M3c
1
----- 2LS1 XS0124*
Z ZERO SENSOR
SENSOR TOUCH 2RGZCE0001** M6c
ハイブリッドキャリブレーション吸着確認
SW プレッシャ
2
RX007 JOF PS S3150B
HYBRID CALIBRATION PICK UP CHECK
SW PRESSURE
ハイブリッドキャリブレーション吸着バキュームON
RY006 JOF SOL1
HYBRID CALIBRATION VACUUUM ON
バルブ SOL
3
H14592 ------
ハイブリッドキャリブレーション吸着バキュームOFF
VALVE SOL
RY007 JOF SOL2
HYBRID CALIBRATION VACUUUM OFF
アンプ
2AGZCA0012** M3c
T2LS1 2MGTCA0027**
CX000
レーン1基板通過確認L
AMPLIFIER
2RGZCE0006** M6c:~X19
7
CY004 LANE1 PANEL PASS CHECK L
センサ ファイバ
2MGTCA0026** ------
SENSOR FIBER
アンプ
2AGZCA0013** M3c
T2LS2 2MGTCA0027**
CX001
レーン1基板通過確認R
AMPLIFIER
2RGZCE0007** M6c:~X19
5
CY004 LANE1 PANEL PASS CHECK R
センサ ファイバ
2MGTCA0026** ------
SENSOR FIBER
6
レーン1バックアップピン検知
T2LS5T
センサ
2RGZCA0007** M3c:~X38
CX005
2MGTCA0025**
LANE1 BACK-UP PIN CHECK
T2LS5R
SENSOR 2RGZCE0010** M6c:~X19
4
------
2AGZCE0015** M6c:X20~
2AGZCE0016** M6c:X20~
2MGTCA0025**
XS03380
XS03380
2RGZCA0008** M3c:X39~
2RGZCE0013** M6c:X20~
PTS- NXT3c- 07
676

NAME
TITLE
DRAWING No.
部品配置図
PARTS ARRANGEMENT
2RGTBC017601
LCRユニット
LCR UNIT
TYPE
NXTⅢ
1
1
FUJI SECRET
アドレス 信 号 名 / 部 品 名 記号 品 名 品 目 端 末 加 工 図 番 備 考
No.
ADDRESS SIGNAL NAME/PARTS NAME SYMBOL NAME ITEM
TERMINAL PROCESSING DIAGRAM
NOTE
1
X400 36LS3 2AGKYL0001**
2
X408 36LS1
3
X409 36LS2
センサ
4
Y408 36SOL1
SENSOR
5
S69080
S61728
H1121X
センサ
SENSOR
センサ
SENSOR
バルブ SOL
VALVE SOL
Y409 36SOL2
バルブ SOL
H1121X
2AGKYL0003**
2AGKYL0003**
2AGKYL0004**
2AGKYL0004**
VALVE SOL
LCR測定プローブ前進
LCR MEASUREMENT PROBE FORWARD
LCR測定台後退
LCR MEASUREMENT STAND BACKWARD
LCRプローブ原位置確認
LCR MEASUREMENT PROBE ORIGIN POSITION CHECK
LCR測定台原位置確認
LCR MEASUREMENT STAND ORIGIN POSITION CHECKER OK
LCR測定台着座確認
LCR MEASUREMENT STAND SET CHECK
S
* L U 0 1 A 1 2 3 4 5 6 *
S
S69080
2
3
1
4
5
PTS- NXT3c- 07
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