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9 维护段位器光栅盘 D4 预防性维护 2008 年 8 月中文版 78 9

D4 预防性维护 9 维护段位器光栅盘

2008 年 8 月中文版

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① 顺时针转动纵向真空孔内的 1.4 mm 钻头以清除污物。

转动钻头，清除孔内的污物。

② 使用 1.1 mm 钻头清除横向真空孔内的污物。

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执行此步骤时须戴上实验室手套。 9

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③ 检查段位器光栅盘虹吸盘是否损坏。

如果损坏，则进行更换。

③ 用干无纺布清洁段位器光栅盘虹吸盘。

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① 用浸有无水乙醇的无纺布清洁段位器光栅盘的边缘。

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② 用浸有无水乙醇的无纺布清洁段位器光栅盘的增量盘。

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③ 用浸有无水乙醇的无纺布清洁段位器光栅盘轴。

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④ 用浸有无水乙醇的脱脂棉签小心地清洁球状收集盘边缘。

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