SP60P-M Mechanical 20120628 - 第101页

Ref No. Remark s R 1 Q'ty 11-D マスククリーニングユニット(M) Mask Cleaning Unit(M) ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品番 数量 R 2 パーツリスト Kit N o . キット品 番 Kit Name キット名称 KXFX039LA00 Part Nam e 備 考 ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LIST Section No. R 3 PLATE 1 1 K…

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11-D
マスククリーニングユニット(M)
Mask Cleaning Unit(M)
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
KXFX039LA00
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
M81
( KKXFX039LA00-16-4 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
11-D
マスククリーニングユニット(M)
Mask Cleaning Unit(M)
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品　　名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
KXFX039LA00
Part Name
備　　　考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
PLATE
1
1 KXFB034AB01
BOX
1
2 N210044744AA
BRACKET
1
3 N210002137AA
PLATE
1
4 N210001692AA
BRACKET
1
5 N210008012AA
PLATE
1
6 KXFB034XA01
PLATE
1
7 N210001694AA
BRACKET
1
8 N210008026AA
BRACKET
1
9 KXFB035JC00
PLATE
1
10 KXFB035LB00
BLOCK
1
12 KXFB035ND00
PLATE
1
13 KXFB035PA01
PIN
1
15 N210001697AA
D-PIN
1
16 N210001698AA
BRACKET
1
17 KXFB035VC02
DOG
1
18 KXFB035XA01
DOG
1
19 KXFB035YA01
VALVE
1
20 N510001478AA NCV-304-Rc1/8-P
JOINT
1
21 N510001412AA C4N6*4-PT1/8-S
JOINT
2
22 KXF02BZAA00 KQL06-02S
VALVE
1
23 KXF0DWTSA00 FAB31-8-6-12CS-3
SILENCER
1
24 N510064385AA AN15-02
BRACKET
1
25 KXFB08Z6A00
HINGE
2
26 N510023812AA B-63-1
CYLINDER
1
27 KXF095CAA00 CJ2B16-15
SPEED-CONTROLLER
2
28 KXF00YMAA00 AS1201F-M5-04
SENSOR
1
30 KXF09WWAA00
A
PM2-LL10-C1
BEARING
1
31 KXF09T3AA00 UMBB8-30
WASHER
1
32 KXF05MMAA00 SSWA13-3.0
PIN
1
33 KXF07C0AA00 MSTH6-20
PULL
1
34 KXF00RYAA00 A-231-2
CABLE-BEAR
1
35 KXF0DWTWA00 340.050-075-14-3050.12PZ
SENSOR
3
36 KXF07B2AA00
A
PM-T53-C1
SPACER
2
37 N510017093AA CB-315E
FLOATING-JOINT
1
38 KXF0277AA00 JA15-5-080
PIN
2
39 KXF02Y6AA00 MS4-10
BOLT
4
40 N510017663AA
Hexagon socket Flat head bolt M8X25-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
1
41 N510017781AA
Hexagon head bolt Best class M8X40-6g 4T A2J (Trivalent) Full thread
BOLT
2
43 KXF0DV6AA00 CBS5-16
WASHER
2
44 KXF0DWXDA00 WSSB12-5-1
BAND
2
46 KXF0DWU5A00 SY32
BRACKET
1
47 N210001699AA
BRACKET
1
48 N210001701AA
JOINT
1
49 KXF0CNMAA00 SL3001
M82
--
( KKXFX039LA00-16-4 )
11-E
マスククリーニングユニット(M)
Mask Cleaning Unit(M)
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
KXFX039LA00
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
M83
( KKXFX039LA00-16-5 )