SP60P-M Mechanical 20120628 - 第116页
17 ブロアーユニット Blower Un it パーツレイアウト Ki t N o . キット 品番 Kit N am e キット名称 N6 10 002 62 3AA ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LAYOUT Section No. - - M97 ( KN610002623AA-04 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
16
基
板吸着
配管ユニット
Board Vacuum U (Large-Sized Vacuum Pump)
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
KXFX03ASA00
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BRACKET
2
1 KXFB00JJA01
PLATE
1
2 KXFB04MJB01
BRACKET
1
3 KXFB0056A00
JOINT
1
4 KXF0DWUYA00 KQH12-00
VALVE
1
5 KXF0DY3EA00 VT317V-5GS-02
JOINT
1
6 KXF0CS3AA00 KQZD08-02S
JOINT
1
7 KXF05HMAA00 KQL12-99
SILENCER
1
8 N510064385AA AN15-02
JOINT
1
9 KXF02CPAA00 KQLE12-00
PLUG
3
10 KXF02CSAA00 KQP-08
JOINT
1
11 KXF0E036A00 KQL04-08
JOINT
1
12 KXF02BTAA00 KQL04-M5
SENSOR
1
13 KXF0DWV0A00 E8F2-AN0C
JOINT
1
14 KXF02BFAA00 KQH12-02S
M96
--
( KKXFX03ASA00-02 )
17
ブロアーユニット
Blower Unit
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610002623AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
M97
( KN610002623AA-04 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
17
ブロアーユニット
Blower Unit
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610002623AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
PLATE
1
1 KXFB00BSA00
BASE
1
2 N210134388AA
COVER
1
3 KXFB0367A00
BRACKET
1
4 KXFB0368A00
SOCKET
1
5 KXF0DX37A01 SOCKET 11/4(DA KXF0DX37A01)
BAND
1
6 N510019612AA AS-60
BLOWER
1
7 N510055111AA
S
VFZ501AN
SILENCER
1
8 KXF061UAA00 VFY024B
GROMMET
2
9 KXF0810AA00 C-30-SG-26A
NIPPLE
1
10 N510020208AA (RNi)1 1/2X1 1/4
JOINT
1
11 N510056819AA (BRT)1 1/2X1 1/2X2
BUSH
1
12 KXF0B5WAA00 NSL-18
ADJUST-BOLT
4
13 KXF01D9AA00 C-280-3
WASHER
2
14 KXF0B67AA00 UWFH30-55
FILTER
1
15 KXF09A9AA00 AP-16
SOCKET
1
16 N510020210AA (S)2
NIPPLE
1
17 N510056820AA (Ni)2
SCREW
9
18 N510018259AA
Cross recessed Truss head machine screw M4X12-4.8 A2J (Trivalent)
NUT
4
19 N510017895AA
Hexagon nut Type-1 Best class M12-6H-4T A2J (Trivalent)
FILTER
1
21 KXF0DWCJA00 P-AP-16
M98
--
( KN610002623AA-04 )