SP60P-M Mechanical 20120628 - 第190页
11 雰 囲 気 温調本 体 :MPA-14A Atmospheri c Temperature Control M ai n Body: MPA-14A パーツレイアウト Kit N o . キット品 番 Kit N am e キット名称 N6 10 033 43 1AA ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LAYOUT Section No. - - S29 ( KN610033431AA-01 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
10
セラミック
基板対応
シャッター
(
M
)
Shutter For Ceramic PCB Capable(M)
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット
品番
Kit Name
キット 名称
KXFX03AWA00
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝ
No
.
PARTS LIST
Section No.
R
3
PLATE
1
1 KXFB031TB00
PLATE
1
2 KXFB031UB00
BRACKET
1
3 KXFB031VB00
PLATE
2
4 KXFB031WA00
SHAFT
2
5 KXF0DY10A00 PSFJT8-62-M4-SC0
LINEAR-BUSH
2
6 KXF0DWVCA00 FTBIW-8UU
CYLINDER
1
7 KXF0DWV1A00 CDQSB16-25DCM-A93LS
SPEED-CONTROLLER
1
8 KXF00YMAA00 AS1201F-M5-04
POLARIZING-PLATE
1
9 KXF0DWZ0A00 Polarizing Plate t0.5X37X152(DA KXF0DWZ0A00)
FLOATING-JOINT
1
10 KXF0DWV3A00 FJT6-1.0-3
WASHER
1
11 KXF0DWV4A00 WSSBH16-6-2
SPACER
4
12 N510017069AA ASF-580E
S28
-
-
( KKXFX03AWA00-01 )
11
雰
囲
気
温調本
体
:MPA-14A
Atmospheric Temperature Control Main Body: MPA-14A
パーツレイアウト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610033431AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S29
( KN610033431AA-01 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q't
y
11
雰囲気
温
調本体
:MPA-14A
Atmospheric Temperature Control Main Body: MPA-14A
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610033431AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
TEMPERATURE-CONTROLLE
R
1
1 N510019851AB
S
MPA-14A
CHAMBER
1
2 KXF0E0H3A00 HC40007(DDA)
FLANGE
1
3 KXF072WAA00 6132-9099
DUCT
1
4 N510011235AA FD125
SCREW
8
5 N510018257AA
Cross recessed Truss head machine screw M4X10-4.8 A2J (Trivalent)
FILTER
1
6 KXF0DY67A00 PS/400 185X185X14
S30