SP60P-M Mechanical 20120628 - 第191页
Ref No. Remarks R 1 Q't y 11 雰囲気 温 調本体 :MPA-14A Atmospheric Temperature Control Main Body: MPA-14A ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品番 数量 R 2 パーツリスト Kit No . キット品 番 Kit Name キット名称 N610033431AA Part N ame 備 考 ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LIS…
11
雰
囲
気
温調本
体
:MPA-14A
Atmospheric Temperature Control Main Body: MPA-14A
パーツレイアウト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610033431AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S29
( KN610033431AA-01 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q't
y
11
雰囲気
温
調本体
:MPA-14A
Atmospheric Temperature Control Main Body: MPA-14A
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610033431AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
TEMPERATURE-CONTROLLE
R
1
1 N510019851AB
S
MPA-14A
CHAMBER
1
2 KXF0E0H3A00 HC40007(DDA)
FLANGE
1
3 KXF072WAA00 6132-9099
DUCT
1
4 N510011235AA FD125
SCREW
8
5 N510018257AA
Cross recessed Truss head machine screw M4X10-4.8 A2J (Trivalent)
FILTER
1
6 KXF0DY67A00 PS/400 185X185X14
S30
12
内
部
照明
Internal Lighting
パーツレイアウト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
KXFX03AVA00
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S31
( KKXFX03AVA00-02 )