SP60P-M Mechanical 20120628 - 第236页
34 マスククリーニング(M)L =220 M ask Cl ea nin g(M )L=2 20 パーツレイアウト Kit N o . キット品 番 Kit N am e キット名称 N6 10 000 26 0AA ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LAYOUT Section No. - - S75 ( KN610000260AA-01 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q't
y
33
マスククリーニング(M)L=270
Mask Cleaning(M)L=270
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品
番
Kit Name
キット名称
KXFX04M8A00
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BLOCK
4
1 N210000511AA
ROD
2
2 N210000512AA
DISK
4
3 KXFB0006A00
NOZZLE
1
4 N210000513AA
NOZZLE
1
5 N210087805AA
FLANGE
2
6 KXFB0ATRA00
HOLDER
2
7 KXFB0357A01
HOLDER
2
8 KXFB0359A00
CLICK
4
9 KXFB035CA00
PIN
8
10 KXFB035DA00
FLANGE
2
11 KXFB035HB00
SHAFT
2
12 KXFB03XVB00
COLLAR
2
13 KXFB03XWB00
BOLT
8
14 N510017631AA
Hexagon socket Flat head bolt M5X15-10.9 A2J (Trivalent)
PLUG
1
15 KXF0AP5AA00 SP2001
JOINT
1
16 N510001107AA L4N6X4-PT1/8ST
PAPER
2
17 KXF061EAA00 TS-100 D100X270W
TUBE
1
18 KXF04CLAA00 Paper pipe inner diameter D38X270L
BOLT
8
19 N510017630AA
Hexagon socket Flat head bolt M5X12-10.9 A2J (Trivalent)
PIN
2
20 KXF086LAA00 MS3-6
S74
34
マスククリーニング(M)L=220
Mask Cleaning(M)L=220
パーツレイアウト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610000260AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S75
( KN610000260AA-01 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q't
y
34
マスククリーニング(M)L=220
Mask Cleaning(M)L=220
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610000260AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BOSS
4
1 KXFB0005A00
ROD
2
2 KXFB072YA00
DISK
4
3 KXFB0006A00
PLATE
1
4 KXFB072ZA00
NOZZLE
1
5 KXFB0730A01
NOZZLE
1
6 N210087804AA
FLANGE
2
7 KXFB0ATRA00
HOLDER
2
8 KXFB0357A01
HOLDER
2
9 KXFB0359A00
CLICK
4
10 KXFB035CA00
PIN
8
11 KXFB035DA00
FLANGE
2
12 KXFB035HB00
SHAFT
2
13 KXFB03XVB00
COLLAR
2
14 KXFB03XWB00
BOLT
8
15 N510017631AA
Hexagon socket Flat head bolt M5X15-10.9 A2J (Trivalent)
PLUG
1
16 KXF0AP5AA00 SP2001
JOINT
1
17 N510001107AA L4N6X4-PT1/8ST
PAPER
2
18 KXFP6GG3A00 TS-100 D100X220W
TUBE
1
19 KXF0DZM1A00 Paper pipe inner diameter D38X220L
BOLT
8
20 N510017630AA
Hexagon socket Flat head bolt M5X12-10.9 A2J (Trivalent)
PIN
2
21 KXF086LAA00 MS3-6
S76