SP60P-M Mechanical 20120628 - 第97页

Ref No. Remark s R 1 Q'ty 11-B マスククリーニングユニット(M) Mask Cleaning Unit(M) ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品番 数量 R 2 パーツリスト Kit N o . キット品 番 Kit Name キット名称 KXFX039LA00 Part Nam e 備 考 ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LIST Section No. R 3 SHAFT 1 2 K…

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11-B
マスククリーニングユニット(M)
Mask Cleaning Unit(M)
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
KXFX039LA00
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
M77
( KKXFX039LA00-16-2 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
11-B
マスククリーニングユニット(M)
Mask Cleaning Unit(M)
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品　　名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
KXFX039LA00
Part Name
備　　　考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
SHAFT
1
2 KXFB034HA02
COLLAR
1
3 KXFB00B2A00
KEY
1
4 KXFB00B0A00
PULLEY
1
5 KXFB00AZA00
PLATE
1
6 KXFB034JA00
FLANGE
1
7 KXFB034KA01
SHAFT
2
9 N210002135AA
HOLDER
2
15 KXFB0357A01
HOLDER
2
16 KXFB0359A00
ROD
2
17 N210008032AA
CLICK
4
18 N210028532AA
PIN
8
19 KXFB035DA00
FLANGE
2
20 KXFB035HB00
SHAFT
2
22 KXFB03XVB00
COLLAR
2
23 KXFB03XWB00
BEARING
1
38 KXF03FYAA00 SFB34-8
BRAKE
1
39 KXF09T0AA00 SBR-62-10
SCREW
5
40 XXE5D10FT
Hexagon socket set screw Cup point M5X10-45H SOB
PIN
4
41 KXF02YFAA00 MS5-10
COLLAR
4
42 KXF0DWTQA00 NCLB5-12-16.5
BOLT
8
43 N510017630AA
Hexagon socket Flat head bolt M5X12-10.9 A2J (Trivalent)
SPRING
2
44 KXF0DX3AA00 5442
PIN
2
50 KXF086LAA00 MS3-6
PAPER
2
52 KXF061FAA00
A
TS-100 D100X350W
FLANGE
2
56 KXFB0ATRA00
M78
--
( KKXFX039LA00-16-2 )
11-C
マスククリーニングユニット(M)
Mask Cleaning Unit(M)
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
KXFX039LA00
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
M79
( KKXFX039LA00-16-3 )