SP60P-M Mechanical 20120628 - 第99页
Ref No. Remark s R 1 Q'ty 11-C マスククリーニングユニット(M) Mask Cleaning Unit(M) ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品番 数量 R 2 パーツリスト Kit N o . キット品 番 Kit Name キット名称 KXFX039LA00 Part Nam e 備 考 ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LIST Section No. R 3 DUCT 1 1 KX…
11-C
マスククリーニングユニット(M)
Mask Cleaning Unit(M)
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
KXFX039LA00
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
M79
( KKXFX039LA00-16-3 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
11-C
マスククリーニングユニット(M)
Mask Cleaning Unit(M)
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
KXFX039LA00
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
DUCT
1
1 KXFB034BB00
PLATE
1
2 KXFB034DC01
PLATE
1
3 N210002131AB
PLATE
1
4 N210002134AA
NOZZLE
1
5 N210002136AA
NOZZLE
1
6 N210001243AA
PLATE
1
7 KXFB035FB00
COVER
1
9 N210002142AA
BRACKET
1
10 KXFB02E4A00
OIL-SEAL
1
11 N550BM1215A3 BM1215A3
CYLINDER
1
12 KXF0DXCKA00 SSD-L-32-30-T0V-D
SPEED-CONTROLLER
2
13 KXF0DZHSA00 AS2301F-01-04S
COLLAR
2
16 KXFB08Z0A01
PLUNGER
1
17 KXF0E0UDA00 PFSSN5
LINEAR-WAY
2
18 N510019504AA LWLF24C1R80BCSS1E724
PLUG
1
20 KXF0AP5AA00 SP2001
WASHER
1
21 KXF0DYYLA00 FWSSB-D20.0-V8.0-T7.0
SCREW
2
22 N510018419AA
Hexagon socket set screw Flat point M3X3-45H A2J (Trivalent)
SCREW
2
23 N510018257AA
Cross recessed Truss head machine screw M4X10-4.8 A2J (Trivalent)
BOLT
2
24 N510017452AA
Hexagon socket head cap screw M6X65-10.9 A2J (Trivalent)
WASHER
2
25 KXF0B6AAA00 WSSB14-6-3
WASHER
1
26 KXF0CPJAA00 WSSB20-8-3
WASHER
1
27 KXF0AJKAA00 WSSB13-8-3
JOINT
3
28 N510001107AA L4N6X4-PT1/8ST
BOLT
6
29 KXF08P0AA00 Hexagon socket head cap screw M3X25L(SUS)
BOLT
4
30 KXF0BKGAA00 Hexagon socket head cap screw M4X20L(SUS)
M80
--
( KKXFX039LA00-16-3 )
11-D
マスククリーニングユニット(M)
Mask Cleaning Unit(M)
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
KXFX039LA00
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
M81
( KKXFX039LA00-16-4 )