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CM602-L 维修手册 1.6 560 小时检查一次 [ 每月一次 ] Page 1-90 14. 将润滑脂涂敷到基板传送带宽度调整的滚 珠丝杠 以及调整宽度的线性轴 上。 • 使用润滑脂 : MP 润滑脂 2S 请用润滑脂枪从润滑脂注入口 ( 可动侧轨道 ) 注 油。 : 压出 1 次 ( 约 0.9 cm 3 ) 请在中间位置的轴的两侧涂敷润滑脂 。 15. 关闭安全盖。 16. 将伺服开关置于 ON ( I ) …
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8.
关闭安全盖。
9.
将伺服开关置于
ON ( I )
。
10.
按操作面板上的
+
[
支撑销更换
下降
]
。
•
基板支撑块将下降到原点上。
11.
按操作面板的
+
[
传送带中间位
置
]
。
∗
请确认无支撑销之后再操作。
•
基板传送带的可动侧的轨道将滑动到中间位
置。
12.
将伺服开关置于
OFF (O)
。
13.
打开安全盖。
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小时检查一次
[
每月一次
]
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14.
将润滑脂涂敷到基板传送带宽度调整的滚
珠丝杠
以及调整宽度的线性轴
上。
•
使用润滑脂
: MP
润滑脂
2S
请用润滑脂枪从润滑脂注入口
(
可动侧轨道
)
注
油。
:
压出
1
次
(
约
0.9 cm
3
)
请在中间位置的轴的两侧涂敷润滑脂。
15.
关闭安全盖。
16.
将伺服开关置于
ON ( I )
。
17.
按
[
宽调整
]
。
18.
按操作面板上的
+
[
连续动作
]
。
•
基板传送带的可动侧的轨道将在宽度调整轴的
整个行程上反复移动，由此，润滑脂将被涂抹
到宽度调整滚珠丝杠以及宽度调整线性轴所有
部位上。
19.
按操作面板上的
+
[
支撑销更换
上升
]
。
•
基板支撑块将上升到更换位置上。
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20.
将伺服开关置于
OFF (O)
。
21.
打开安全盖。
22.
设置基板支撑块。
∗
设置时请注意使其与原来的方向相同。
23.
取下在步骤
6.
中覆盖在线路照相机上的棉
纱布。
24.
关闭安全盖。
25.
将伺服开关置于
ON ( I )
。
26.
按操作面板的
+
[
支撑销更换下
降
]
。
•
基板支撑块将下降到原点处。
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