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CM602-L 维修手册 1.10 消耗零件的更换 Page 1-174 2. 滚轮的更换 在更换基板传送带的基板搬送滚轮时 ，请在卸下搬送皮带的状态下进行。 1. 使用六角扳手拆卸基板搬送滚轮。 2. 安装新的基板搬送滚轮。 3. 把基板搬送带挂上， 并调整搬送带的张力。 ( “1.6.6 基板传送带的检查 ”) EJM8A-C-MMC01-A05-01
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维修手册
1.10
消耗零件的更换
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1.10.7
基板搬送皮带·滚轮的更换
如果在定期检查时发现异常，请按以下步骤更换基板搬送皮带和滚轮。
∗ 进行维护作业时有必要拆下供料器工作台盖和整体交换台车。
(
“1.2.2
整体交换台车的拆卸和安装，
1.2.4
供料器工作台盖的拆卸和安装
”)
1.
基板搬送皮带的更换
1.
将电源开关置于
OFF (O)
的同时，停止
空气的供给。
∗
请将电源开关和主空气阀上锁。
2.
拉拽皮带将其取下。
∗
需要更换滚轮时，请参照后述的滚轮更换，并
进行更换。
3.
换上新皮带。
∗
请参照左图，将皮带安装到各皮带轮上。
从机器正面观看的配置
左传送带 右传送带
上图的
号码
长度[mm] 长度[mm]
925 745
1390 1195
1195 1390
745 925
1351 1351
4.
调整皮带的张力。
(
“1.6.6
基板传送带的检查
”)
5.
将电源开关置于
ON ( I )
的同时，开始空
气的供给。
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维修手册
1.10
消耗零件的更换
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2.
滚轮的更换
在更换基板传送带的基板搬送滚轮时，请在卸下搬送皮带的状态下进行。
1.
使用六角扳手拆卸基板搬送滚轮。
2.
安装新的基板搬送滚轮。
3.
把基板搬送带挂上，并调整搬送带的张力。
( “1.6.6
基板传送带的检查
”)
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维修手册
1.10
消耗零件的更换
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1.10.8
宽度调整同步皮带的更换
如果定期检查时发现异常，请按以下步骤更换同步皮带。
∗ 进行维护作业时有必要拆下供料器工作台盖和整体交换台车。
(
“1.2.2
整体交换台车的拆卸和安装，
1.2.4
供料器工作台盖的拆卸和安装
”)
1.
将电源开关置于
OFF (O)
的同时，停止
空气的供给。
∗
请将电源开关和主空气阀上锁。
2.
卸下固定阀的螺栓
(2
根
)
。
3.
松开联轴节的固定螺丝
。
4.
卸下固定电机托架的螺栓。
5.
松开装有皮带的皮带轮上的固定螺丝
。
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螺栓
联轴节
电机
阀
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固定螺丝
固定螺丝