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CM602-L 维修手册 1.10 消耗零件的更换 Page 1-179 8. 参照左图连接配线 (4 条 ) 。 ∗ 连接时,请使配线的符号 (U 、 V 、 W) 与端子 台的 (U 、 V 、 W) 相一致。 9. 用螺栓 (4 根 ) 固定真空泵。 拧紧扭距 : 1.6 N•m ± 0.1 N•m 10. 把盖安装上。 11. 将电源开关置于 ON ( I ) 的同时,开始空 气的供给。 EJM4A-128E 配线 端子台 地线…

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消耗零件的更换
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3.
取下与真空泵连结的管
(
黑色、
2
)
4.
卸下固定真空泵基础的螺栓
(4
)
通知
在打开配电部位之前,一定要事先确认机器主机的电源是否处于
OFF
状态。
拆卸连接在配电部位的配线
(4
)
请注意不要弄错配线的顺序。如果弄错顺序,将会造成真空泵电极逆旋转的原因。
5.
打开真空泵的配电部位
(
左图框内
)
6.
拆卸真空泵,更换新的真空泵。
7.
连接管。
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螺栓
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8.
参照左图连接配线
(4
)
连接时,请使配线的符号
(U
V
W)
与端子
台的
(U
V
W)
相一致。
9.
用螺栓
(4
)
固定真空泵。
拧紧扭距
: 1.6 N•m
±
0.1 N•m
10.
把盖安装上。
11.
将电源开关置于
ON ( I )
的同时,开始空
气的供给。
EJM4A-128E
配线
端子台
地线
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