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CM602-L 维修手册 2.2 机器参数的示教步 骤 Page 2-1 47 18. 用手动方式将移载吸头移至基板弯曲传感 器治具的 “4 mm” 位置。 ∗ 请确认传感器的照射光 位于 “4 mm” 位置的孔之 中央 位置。 ∗ 请确认画面右中央的 ‘Z=’ 数值在 4.000 ± 0.020 的范围内。 ∗ 数值不在 4.000 ± 0.020 的范围时，请从步 骤 14. 再次进行操作。 19. 关闭安全盖。 20. 将伺服…
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维修手册
2.2
机器参数的示教步骤
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16.
用手动方式将移载吸头移至基板弯曲传感
器治具的
“0 mm”
位置。
∗
请确认传感器的照射光位于
“0 mm”
位置的孔之
中央
位置。
17.
用附属的专用工具将放大器上面的
“SPAN”
转动进行调整。
∗
请将画面中央的
‘Z=’
数值调整到
0.000
±
0.020
的范围内。
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EJM8A-Mp-0040
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基板弯曲传感器治具
EJM8A-013P
EJM8A-010P
Down
Up
放大器
EJM8A-405E
1
EJM8A-014P
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2.2
机器参数的示教步骤
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18.
用手动方式将移载吸头移至基板弯曲传感
器治具的
“4 mm”
位置。
∗
请确认传感器的照射光位于
“4 mm”
位置的孔之
中央
位置。
∗
请确认画面右中央的
‘Z=’
数值在
4.000
±
0.020
的范围内。
∗
数值不在
4.000
±
0.020
的范围时，请从步骤
14.
再次进行操作。
19.
关闭安全盖。
20.
将伺服开关置于
ON ( I )
。
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基板弯曲传感器治具
EJM8A-405E
2
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2.2
机器参数的示教步骤
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21.
按操作面板上的
+
[
传感器位置
示教
]
。
•
将取得基板弯曲传感器的照射光位置的
XY
坐
标。
22.
按操作面板上的
+
[
取下量具
]
。
•
移载吸头将会移至退避位置。
23.
将伺服开关置于
OFF (O)
。
24.
打开安全盖。
25.
将基板弯曲传感器治具从基板支座上取
下。
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