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CM602-L 维修手册 3.6 负荷一览表 Pa ge 3-73 3.6.2 电磁阀一览表 (VL) 标准部 (1/6) 模块名称 No. 名称 配置位置 备注 VL520 基板支座 Z 夹具 2 A VL522 基板支座支撑上升 2 A VL523 基板支座支撑下降 2 A VL524 支撑块交换上升 A VL525 支撑块交换下降 A VL530 基板支座 Z 夹具 1 A VL532 基板支座支撑上升 1 A VL533 基…
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-72
选购件部
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
M-T1AF
θ
轴驱动
AF
M-T2AF
θ
轴驱动
AF
M-T3AF
θ
轴驱动
AF
M-T1AR
θ
轴驱动
AR
M-T2AR
θ
轴驱动
AR
M-T3AR
θ
轴驱动
AR
M-T1BF
θ
轴驱动
BF
M-T2BF
θ
轴驱动
BF
M-T3BF
θ
轴驱动
BF
M-T1BR
θ
轴驱动
BR
M-T2BR
θ
轴驱动
BR
M-T3BR
θ
轴驱动
BR
M-Z1AF
Z
轴驱动
AF
M-Z2AF
Z
轴驱动
AF
M-Z3AF
Z
轴驱动
AF
M-Z1AR
Z
轴驱动
AR
M-Z2AR
Z
轴驱动
AR
M-Z3AR
Z
轴驱动
AR
M-Z1BF
Z
轴驱动
BF
M-Z2BF
Z
轴驱动
BF
M-Z3BF
Z
轴驱动
BF
M-Z1BR
Z
轴驱动
BR
M-Z2BR
Z
轴驱动
BR
移载吸头
(
多功能吸头
)
M-Z3BR
Z
轴驱动
BR
M1-NC1
传送带驱动
AF
M1-NC2
传送带驱动
AR
M1-NC3
传送带驱动
BF
部品排出传送带
M1-NC4
传送带驱动
BR
EJM8A-C-MMC03-A02-01
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-73
3.6.2
电磁阀一览表
(VL)
标准部
(1/6)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
VL520
基板支座
Z
夹具
2
A
VL522
基板支座支撑上升
2
A
VL523
基板支座支撑下降
2
A
VL524
支撑块交换上升
A
VL525
支撑块交换下降
A
VL530
基板支座
Z
夹具
1
A
VL532
基板支座支撑上升
1
A
VL533
基板支座支撑下降
1
A
VL540
基板定位止动器
1
A
VL541
基板定位止动器
2
A
VL542
基板定位止动器
3
A
VL920
基板支座
Z
夹具
2
B
VL922
基板支座支撑上升
2
B
VL923
基板支座支撑下降
2
B
VL924
支撑块交换上升
B
VL925
支撑块交换下降
B
VL930
基板支座
Z
夹具
1
B
VL932
基板支座支撑上升
1
B
VL933
基板支座支撑下降
1
B
VL940
基板定位止动器
1
B
VL941
基板定位止动器
2
B
VL942
基板定位止动器
3
B
VL234
编带切刀
(
右
)
AF
VL235
解除编带切刀
(
右
)
AF
VL236
编带切刀
(
左
)
AF
VL237
解除编带切刀
(
左
)
AF
VL434
编带切刀
(
右
)
AR
VL435
解除编带切刀
(
右
)
AR
VL436
编带切刀
(
左
)
AR
VL437
解除编带切刀
(
左
)
AR
VLB34
编带切刀
(
右
)
BF
VLB35
解除编带切刀
(
右
)
BF
VLB36
编带切刀
(
左
)
BF
VLB37
解除编带切刀
(
左
)
BF
VLD34
编带切刀
(
右
)
BR
VLD35
解除编带切刀
(
右
)
BR
VLD36
编带切刀
(
左
)
BR
主体部
VLD37
解除编带切刀
(
左
)
BR
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CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
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(2/6)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
VL126
整体交换上升
AF
VL127
整体交换下降
AF
VL326
整体交换上升
AR
VL327
整体交换下降
AR
VLA26
整体交换上升
BF
VLA27
整体交换下降
BF
VLC26
整体交换上升
BR
VLC27
整体交换下降
BR
MVL10
空气下降阀
-
VL120
照相机视野切换
1
AF
VL121
照相机视野切换
2
AF
VL320
照相机视野切换
1
AR
VL321
照相机视野切换
2
AR
VLA20
照相机视野切换
1
BF
VLA21
照相机视野切换
2
BF
VLC20
照相机视野切换
1
BR
主体部
VLC21
照相机视野切换
2
BR
AFHVL10
切换吹气压
AF
ARHVL10
切换吹气压
AR
BFHVL10
切换吹气压
BF
XY
装置
BRHVL10
切换吹气压
BR
基板传送带
L
VL513
治具基板吸着
A
基板传送带
R
VL913
治具基板吸着
B
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