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CM602-L 维修手册 3.6 负荷一览表 Pa ge 3-78 (6/6) 模块名称 No. 名称 配置位置 备注 VL21 NP1 真空阀 AF VL22 NP2 真空阀 AF VL23 NP3 真空阀 AF VL24 NP4 真空阀 AF VL25 NP5 真空阀 AF VL26 NP6 真空阀 AF VL27 NP7 真空阀 AF VL28 NP8 真空阀 AF VL21 NP1 真空阀 AR VL22 NP2 真空阀 AR …
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-77
(5/6)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
VL11
NP1
切换空气开放·吹气
AF
VL12
NP2
切换空气开放·吹气
AF
VL13
NP3
切换空气开放·吹气
AF
VL14
NP4
切换空气开放·吹气
AF
VL15
NP5
切换空气开放·吹气
AF
VL16
NP6
切换空气开放·吹气
AF
VL17
NP7
切换空气开放·吹气
AF
VL18
NP8
切换空气开放·吹气
AF
VL11
NP1
切换空气开放·吹气
AR
VL12
NP2
切换空气开放·吹气
AR
VL13
NP3
切换空气开放·吹气
AR
VL14
NP4
切换空气开放·吹气
AR
VL15
NP5
切换空气开放·吹气
AR
VL16
NP6
切换空气开放·吹气
AR
VL17
NP7
切换空气开放·吹气
AR
VL18
NP8
切换空气开放·吹气
AR
VL11
NP1
切换空气开放·吹气
BF
VL12
NP2
切换空气开放·吹气
BF
VL13
NP3
切换空气开放·吹气
BF
VL14
NP4
切换空气开放·吹气
BF
VL15
NP5
切换空气开放·吹气
BF
VL16
NP6
切换空气开放·吹气
BF
VL17
NP7
切换空气开放·吹气
BF
VL18
NP8
切换空气开放·吹气
BF
VL11
NP1
切换空气开放·吹气
BR
VL12
NP2
切换空气开放·吹气
BR
VL13
NP3
切换空气开放·吹气
BR
VL14
NP4
切换空气开放·吹气
BR
VL15
NP5
切换空气开放·吹气
BR
VL16
NP6
切换空气开放·吹气
BR
VL17
NP7
切换空气开放·吹气
BR
移载吸头
(
通用吸头
8
吸嘴
)
VL18
NP8
切换空气开放·吹气
BR
EJM8A-C-MMC03-A02-01
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-78
(6/6)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
VL21
NP1
真空阀
AF
VL22
NP2
真空阀
AF
VL23
NP3
真空阀
AF
VL24
NP4
真空阀
AF
VL25
NP5
真空阀
AF
VL26
NP6
真空阀
AF
VL27
NP7
真空阀
AF
VL28
NP8
真空阀
AF
VL21
NP1
真空阀
AR
VL22
NP2
真空阀
AR
VL23
NP3
真空阀
AR
VL24
NP4
真空阀
AR
VL25
NP5
真空阀
AR
VL26
NP6
真空阀
AR
VL27
NP7
真空阀
AR
VL28
NP8
真空阀
AR
VL21
NP1
真空阀
BF
VL22
NP2
真空阀
BF
VL23
NP3
真空阀
BF
VL24
NP4
真空阀
BF
VL25
NP5
真空阀
BF
VL26
NP6
真空阀
BF
VL27
NP7
真空阀
BF
VL28
NP8
真空阀
BF
VL21
NP1
真空阀
BR
VL22
NP2
真空阀
BR
VL23
NP3
真空阀
BR
VL24
NP4
真空阀
BR
VL25
NP5
真空阀
BR
VL26
NP6
真空阀
BR
VL27
NP7
真空阀
BR
移载吸头
(
通用吸头
8
吸嘴
)
VL28
NP8
真空阀
BR
EJM8A-C-MMC03-A02-01
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-79
选购件部分
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
VL521
基板侧夹具
(
左
)
A
VL531
基板侧夹具
(
右
)
A
VL921
基板侧夹具
(
左
)
B
主体部
VL931
基板侧夹具
(
右
)
B
VL231
挡板开
AF
VL230
挡板闭
AF
VL431
挡板开
AR
VL430
挡板闭
AR
VLB31
挡板开
BF
VLB30
挡板闭
BF
VLD31
挡板开
BR
吸嘴交换器
(
高速吸头、通用吸头
)
VLD30
挡板闭
BR
VL231
挡板开
AF
VL230
挡板闭
AF
VL431
挡板开
AR
VL430
挡板闭
AR
VLB31
挡板开
BF
VLB30
挡板闭
BF
VLD31
挡板开
BR
吸嘴交换器
(
多功能吸头
)
VLD30
挡板闭
BR
HVL51
切换真空·吹气
AF
HVL52
切换真空·吹气
AF
HVL53
切换真空·吹气
AF
HVL51
切换真空·吹气
AR
HVL52
切换真空·吹气
AR
HVL53
切换真空·吹气
AR
HVL51
切换真空·吹气
BF
HVL52
切换真空·吹气
BF
HVL53
切换真空·吹气
BF
HVL51
切换真空·吹气
BR
HVL52
切换真空·吹气
BR
HVL53
切换真空·吹气
BR
HVL54
切换空气开放·吹气
AF
HVL55
切换空气开放·吹气
AF
HVL56
切换空气开放·吹气
AF
HVL54
切换空气开放·吹气
AR
HVL55
切换空气开放·吹气
AR
HVL56
切换空气开放·吹气
AR
HVL54
切换空气开放·吹气
BF
HVL55
切换空气开放·吹气
BF
HVL56
切换空气开放·吹气
BF
HVL54
切换空气开放·吹气
BR
HVL55
切换空气开放·吹气
BR
移载吸头
(
多功能吸头
)
HVL56
切换空气开放·吹气
BR
HVL57
搭载负荷控制
AF
HVL57
搭载负荷控制
AR
HVL57
搭载负荷控制
BF
对应多功能吸头的装置
HVL57
搭载负荷控制
BR
EJM8A-C-MMC03-A02-01