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CM602-L 维修手册 1.1 维护的概要 Pa ge 1-11 每 1500 小时进行 一次 (3 个月一次 ) 的定期检查项目 No. 对象装置 检查·注油位置 检查·注油内容 指定润滑脂 参照 1 基板支座 支撑装置上限止动器用 减震器 检查 − 1.7.1 每 6000 小时进行一 次 (1 年一次 ) 的定 期检查项目 < 各类型通用 > No. 对象装置 检查·注油位置 检查·注油内容 指定润滑脂 参照…
CM602-L
维修手册
1.1
维护的概要
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每
280
小时进行一次
(
二周一次
)
的定期检查项目
<
高速吸头
(12
吸嘴
)
、通用吸头
(8
吸嘴
)>
No.
对象装置
检查·注油位置
检查·注油内容
指定润滑脂
参照
1
吸嘴座
吸嘴过滤器
更换
−
1.5.1
每
560
小时进行一次
(1
个月一次
)
的定期检查项目
<
各类型通用
>
No.
对象装置
检查·注油位置
检查·注油内容
指定润滑脂
参照
宽度调整滚珠丝杠
注油
MP
润滑脂
2S
宽度调整线性轴
涂敷润滑脂
MP
润滑脂
2S
1.6.1
基板搬送皮带
检查
−
1.6.7
1
基板传送带
基板检测传感器
清扫
−
1.6.13
2
XY
装置
X
·
Y
轴线性轴承
注油
MP
润滑脂
2S
1.6.2
3
切割装置
切割装置
注油
MP
润滑脂
2S
1.6.8
4
主体
真空泵过滤器
清扫
−
1.6.11
安全开关
检查
−
1.6.12
5
盖
安全盖
清扫
−
1.6.16
<
高速吸头
(12
吸嘴
)
、通用吸头
(8
吸嘴
)>
No.
对象装置
检查·注油位置
检查·注油内容
指定润滑脂
参照
夹具爪
涂敷润滑脂
Barrierta IEL/V
1
吸嘴座
夹具爪压紧用弹簧
涂敷润滑脂
Barrierta IEL/V
1.6.3
吸嘴锥形面
清扫
−
吸嘴反射板
清扫
−
吸嘴尖端部
清扫
−
2
吸嘴
(
选购件
)
吸嘴内部
清扫
−
3
吸嘴交换器
1
吸嘴反射板接触面
清扫
−
1.6.4
真空系
检查
−
1.6.14
4
移载吸头
θ
轴皮带
检查
−
1.6.15
∗
1:
对高速吸头
(12
吸嘴
)
用这为选购件
<
多功能吸头
>
No.
对象装置
检查·注油位置
检查·注油内容
指定润滑脂
参照
1
吸嘴座
夹具爪
涂敷润滑脂
Barrierta IEL/V 1.6.5
吸嘴反射板
清扫
−
2
吸嘴
吸嘴尖端部
清扫
−
3
吸嘴交换器
吸嘴反射板接触面
清扫
−
1.6.6
Z
轴滚珠丝杠
注油
MP
润滑脂
2S
1.6.9
4
移载吸头
反射板
清扫
−
1.6.10
5
6
连供料器搭载部
(
选购件
)
切割装置
注油
MP
润滑脂
2S
1.6.8
EJM8A-C-MMC01-A01-02
CM602-L
维修手册
1.1
维护的概要
Page 1-11
每
1500
小时进行一次
(3
个月一次
)
的定期检查项目
No.
对象装置
检查·注油位置
检查·注油内容
指定润滑脂
参照
1
基板支座
支撑装置上限止动器用减震器
检查
−
1.7.1
每
6000
小时进行一次
(1
年一次
)
的定期检查项目
<
各类型通用
>
No.
对象装置
检查·注油位置
检查·注油内容
指定润滑脂
参照
1
主体
真空泵
检查
−
1.8.1
2
彩色接触面板
背光灯
检查
−
1.8.2
3
基板传送带
宽度调整同步皮带
检查
−
1.8.4
<
多功能吸头
>
No.
对象装置
检查·注油位置
检查·注油内容
指定润滑脂
参照
1
吸嘴
1006
吸嘴
检查
−
1.8.3
每
18000
小时进行一次
(3
年一次
)
的定期检查项目
<
各类型通用
>
No.
对象装置
检查·注油位置
检查·注油内容
指定润滑脂
参照
1
XY
装置
电缆支架
检查
−
1.9.2
<
高速吸头
(12
吸嘴
)
、通用吸头
(8
吸嘴
)>
No.
对象装置
检查·注油位置
检查·注油内容
指定润滑脂
参照
夹具爪
检查
−
夹具爪压紧用弹簧
检查
−
1
移载吸头
吸嘴缓冲用弹簧
检查
−
1.9.1
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维修手册
1.1
维护的概要
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1.1.4
消耗零件一览
<
各类型通用
>
No.
名称
参考寿命
备注
参照
1
真空泵
6000
小时
−
1.10.9
2
彩色接触面板背光灯
6000
小时
−
1.10.1
3
清扫阀
−
−
1.10.6
4
基板搬送皮带
−
−
1.10.7
5
基板搬送滚轮
−
−
1.10.7
6
宽度调整同步皮带
−
−
1.10.8
<
高速吸头
(12
吸嘴
)
、通用吸头
(8
吸嘴
)>
No.
名称
参考寿命
备注
参照
1
吹气阀
−
−
1.10.2
2
真空阀
−
−
1.10.4
3
吸嘴缓冲用弹簧
18000
小时
−
1.9.1
4
夹具爪
18000
小时
−
1.9.1
5
夹具爪用弹簧
18000
小时
−
1.9.1
6
吸嘴过滤器
280
小时
−
1.5.1
<
多功能吸头
>
No.
名称
参考寿命
备注
参照
1
多功能吸头吸嘴过滤器
−
−
1.4.3
2
吹气阀
−
−
1.10.3
3
真空阀
−
−
1.10.5
EJM8A-C-MMC01-A01-00