N7201A003C - 第78页
CM602-L 维修手册 1.1 维护的概要 Pa ge 1-18 5. 基板传送带 L ∗ 基板检测传感器在 A 、 B 工 作台上各有 7 个。 R EJM8A- C-MMC01- A01-0 0 4Z4C-030TC0AA 基板支撑工作台 宽度调整同步皮带 宽度调整滚珠丝杠 宽度调整线性轴 基板检测传感器 基板搬送皮带 4Z4C-030UC0A A 基板支撑工作台 基板搬送皮带 宽度调整滚珠丝杠 宽度调整线性轴 基板检测传…
CM602-L
维修手册
1.1
维护的概要
Page 1-17
3. XY
装置
4.
彩色接触面板
EJM8A-C-MMC01-A01-00
EJM4A-AA01
彩色接触面板面
EJM4A-144E
X
轴线性轴承
Y
轴线性轴承
CM602-L
维修手册
1.1
维护的概要
Page 1-18
5.
基板传送带
L
∗
基板检测传感器在
A
、
B
工
作台上各有
7
个。
R
EJM8A-C-MMC01-A01-00
4Z4C-030TC0AA
基板支撑工作台
宽度调整同步皮带
宽度调整滚珠丝杠
宽度调整线性轴
基板检测传感器
基板搬送皮带
4Z4C-030UC0AA
基板支撑工作台
基板搬送皮带
宽度调整滚珠丝杠
宽度调整线性轴
基板检测传感器
宽度调整同步皮带
CM602-L
维修手册
1.1
维护的概要
Page 1-19
6.
整体交换台车
7.
基板支座
支撑装置上限止动器用减震器
A
、
B
工作台上各有
8
处
EJM8A-C-MMC01-A01-00
KXFX036JA00
支撑装置上限止动器用减震器
支撑装置上限止动器用减震器
4Z4C-15XYC1AA
供料器安装面
空编带箱