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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 3 Technische Daten Ausgabe 08/2011 DE 3.7 SIPLACE Wafer-System (SWS) 159 3.7.6 Beschreibung de r SWS-Baugruppen 3.7.6.1 V ersorgungseinheit Abb. 3.7 - 15 V ersorgungseinheit 3 (1) Manom…
3 Technische Daten Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
3.7 SIPLACE Wafer-System (SWS) Ausgabe 08/2011 DE
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Abb. 3.7 - 14 Baugruppenübersicht des SWS
(1) Klemmeinheit (2) Wafer-Kamera
(3) Flip-Unit (4) Wafer-Aufnahme
(5) Führung
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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 3 Technische Daten
Ausgabe 08/2011 DE 3.7 SIPLACE Wafer-System (SWS)
159
3.7.6 Beschreibung der SWS-Baugruppen
3.7.6.1 Versorgungseinheit
Abb. 3.7 - 15 Versorgungseinheit
3
(1) Manometer Druckluftversorgung (2) Spannungsversorgung
(3) Kommunikation mit SIPLACE-Automat (4) CAN-Bus
(5) Druckluftanschluss (abgewandelter Adap-
ter Blindstecker [03011592-01])
(6) LAN1
(7) LAN2
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3 Technische Daten Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
3.7 SIPLACE Wafer-System (SWS) Ausgabe 08/2011 DE
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3.7.6.2 Flip-Unit
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Abb. 3.7 - 16 Flip-Unit
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(1) Flip-Kopf (2) Pipetten- bzw. Toolaufnahme
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