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3 Technische Daten Betriebsanleitung SIPLACE CA-Ser ie 3.7 SIPLACE Wafer-System (SWS) Ausgabe 08/2011 DE 170 3 Abb. 3.7 - 24 Wafer -Wechsler-System (1) W afer-W echsler mit Gre ifer (2) Magazin-Lift 1 2
Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 3 Technische Daten
Ausgabe 08/2011 DE 3.7 SIPLACE Wafer-System (SWS)
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HINWEIS 3
In dieser ersten Version steht noch kein automatischer Ausstech-Tool-Wechsler zur Verfügung.
Daher kann das SWS ohne Unterbrechung nur Dies verarbeiten, welche mit dem selben Aus-
stech-Tool gelöst werden können.
3.7.6.7 Wafer-Wechsler-System
Das Wafer-Wechsler-System besteht aus dem Magazin-Lift und dem Wafer-Wechsler mit Greifer.
Das Wafer-Wechsler-System wird benötigt, um eine vollautomatische Produktion mit dem SWS
sicherzustellen. Der Bediener wird nur für das Nachfüllen des Magazin-Lifts mit neuen Wafer-Kas-
setten benötigt.
Die Wafer werden in einem Wafer-Magazin bereitgestellt. Das Wafer-Magazin wird vom Bediener
in den Wafer-Magazin-Lift gestellt. Der Magazin-Lift hebt das Wafer-Magazin in die entspre-
chende Höhe, so dass der entsprechende Wafer in der Übergabeposition steht. Dort kann der Wa-
fer-Wechsler den Wafer aus dem Wafer-Magazin nehmen und wieder zurückschieben, nachdem
der Wafer abgearbeitet wurde.
Der Wafer-Wechsler besteht im wesentlichen aus der Greif-Einheit und den Führungsschienen.
Mit der Greifeinheit werden die Wafer aufgenommen und zur aktuell benötigten Position bewegt.
3 Technische Daten Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
3.7 SIPLACE Wafer-System (SWS) Ausgabe 08/2011 DE
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Abb. 3.7 - 24 Wafer-Wechsler-System
(1) Wafer-Wechsler mit Greifer
(2) Magazin-Lift
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Ausgabe 08/2011 DE 3.7 SIPLACE Wafer-System (SWS)
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Magazin-Lift
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Abb. 3.7 - 25 Magazin-Lift
(1) Magazin-Einschub mit Wechselplatte für die Aufnahme von 8"- und 12 "-Magazin-Kassetten
(2) Motor
(3) Wafer-Wechsler mit Abdeckung
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Wafer-Wechsler
Je nach Stellplatz (2 und 4 oder 1 und 3) gibt es zwei verschiedene Versionen des Wafer-
Wechslers.
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