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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 5 Aufgaben an der Maschine Ausgabe 08/2011 DE 5.2 Aufgaben am SWS 333 5.2.3 Magazin befüllen  Befüllen Sie die Magazine mit den W aferfr ames so, dass die Zentri erkerben nach vo rne, …

5 Aufgaben an der Maschine Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie

5.2 Aufgaben am SWS Ausgabe 08/2011 DE

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5.2 Aufgaben am SWS

5.2.1 Einschalten der SIPLACE CA

 Schalten Sie zuerst alle SWS-Module der SIPLACE CA ein.

Die Module fahren hoch. Solange der Bestücker noch nicht eingeschaltet ist, wird am Bildschirm

der SWS-Module eine Fehlermeldung ausgegeben, die darauf hinweist, dass der Sicherheitskreis

nicht geschlossen ist.

 Schalten Sie den Bestücker ein.

Der Stationscomputer und Maschinencontroller starten.

Sobald der Bestücker hochgefahren ist und die Start-Taste betätigt wurde, verschwindet an den

SWS-Modulen die Fehlermeldung zum nicht geschlossenenen Sicherheitskreis. Die SWS-Mo-

dule initialisieren.

Nach abgeschlossener Initialisierung sind die SWS-Module betriebsbereit und in Standby.

5.2.2 Ausschalten der SIPLACE CA

SWS ausschalten

 Beenden Sie alle laufenden Vorgänge an den SWS-Modulen.

 Wechseln Sie an der GUI der SWS-Computer in die Ansicht Production -> Misc und betäti-

gen Sie dort den roten Ausschalter.

SWS GUI und Linux werden ordnungsgemäß beendet. 5

 Schalten Sie das SWS am Hauptschalter aus.

 Wiederholen Sie dies ggf. für jedes weitere SWS.

Bestücker ausschalten

 Beenden Sie alle laufenden Vorgänge am Bestücker.

 Fahren Sie den Stationscomputer herunter.

 Schalten Sie den Bestücker am Hauptschalter aus.

Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 5 Aufgaben an der Maschine

Ausgabe 08/2011 DE 5.2 Aufgaben am SWS

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5.2.3 Magazin befüllen

 Befüllen Sie die Magazine mit den Waferframes so, dass die Zentrierkerben nach vorne, zur

Einschuböffnung zeigen.

HINWEIS 5

Werden Frame-Adapter für 5, 6 oder 7 Zoll Wafer verwendet ist darauf zu achten, dass nur

jeder zweite Slot verwendet werden darf.

5.2.4 Magazin in den Magazin-Lift einsetzen

 Öffnen Sie die Schiebetür des Magazin-Lifts und setzen Sie das Magazin in die Grundplatte

des Lifts, so dass die Zentrierkerben der Wafer in die Maschine zeigen. Achten Sie darauf,

dass das Magazin richtig einrastet.

Abb. 5.2 - 1 Magazin einsetzen

HINWEIS 5

Beim Einlegen der Wafer-Rahmen müssen die Aussparungen im Wafer-Rahmen in Zuführrich-

tung liegen.

5 Aufgaben an der Maschine Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie

5.2 Aufgaben am SWS Ausgabe 08/2011 DE

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5.2.5 Nadelkonfiguration am Ausstechsystem einrichten

 Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manual operations -> Wafer handling und

klicken Sie auf den Button Go to change position.

Der Wafer-Tisch wird weggefahren.

 Wechseln Sie in die Ansicht Service -> Galil I/O und fahren Sie mit der Option D007 Cylin-

der DE UP/Down das Ausstechsystem (Die Ejector) nach oben.

Oder

 Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manual operations -> Die handling und wäh-

len Sie die Registerkarte Die eject system.

 Klicken Sie auf den Button .

Der Wafer-Tisch wird weggefahren und das Ausstechsystem (Die Ejector) aufwärts gefahren,

so dass es zugänglich ist.

 Schalten Sie den Bestücker und das SWS ordnungsgemäß aus.

VORSICHT 5

Verschieben Sie den Wafertisch nicht von Hand, da bei nach oben gefahrenem Ausstechsystem

dieses durch Kollision mit dem Wafertisch beschädigt werden kann!