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5 Aufgaben an der Maschine Betriebsanleitu ng SIPLACE CA-Serie 5.2 Aufgaben am SWS Ausgabe 08/2011 DE 334 5.2.5 Nadelkonfiguration am Ausstechsystem einrichten Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manual operat i…
Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 5 Aufgaben an der Maschine
Ausgabe 08/2011 DE 5.2 Aufgaben am SWS
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5.2.3 Magazin befüllen
Befüllen Sie die Magazine mit den Waferframes so, dass die Zentrierkerben nach vorne, zur
Einschuböffnung zeigen.
HINWEIS 5
Werden Frame-Adapter für 5, 6 oder 7 Zoll Wafer verwendet ist darauf zu achten, dass nur
jeder zweite Slot verwendet werden darf.
5.2.4 Magazin in den Magazin-Lift einsetzen
Öffnen Sie die Schiebetür des Magazin-Lifts und setzen Sie das Magazin in die Grundplatte
des Lifts, so dass die Zentrierkerben der Wafer in die Maschine zeigen. Achten Sie darauf,
dass das Magazin richtig einrastet.
Abb. 5.2 - 1 Magazin einsetzen
HINWEIS 5
Beim Einlegen der Wafer-Rahmen müssen die Aussparungen im Wafer-Rahmen in Zuführrich-
tung liegen.
5 Aufgaben an der Maschine Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
5.2 Aufgaben am SWS Ausgabe 08/2011 DE
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5.2.5 Nadelkonfiguration am Ausstechsystem einrichten
Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manual operations -> Wafer handling und
klicken Sie auf den Button Go to change position.
Der Wafer-Tisch wird weggefahren.
Wechseln Sie in die Ansicht Service -> Galil I/O und fahren Sie mit der Option D007 Cylin-
der DE UP/Down das Ausstechsystem (Die Ejector) nach oben.
Oder
Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manual operations -> Die handling und wäh-
len Sie die Registerkarte Die eject system.
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Klicken Sie auf den Button .
Der Wafer-Tisch wird weggefahren und das Ausstechsystem (Die Ejector) aufwärts gefahren,
so dass es zugänglich ist.
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Schalten Sie den Bestücker und das SWS ordnungsgemäß aus.
VORSICHT 5
Verschieben Sie den Wafertisch nicht von Hand, da bei nach oben gefahrenem Ausstechsystem
dieses durch Kollision mit dem Wafertisch beschädigt werden kann!
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Ausgabe 08/2011 DE 5.2 Aufgaben am SWS
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Öffnen Sie die Schutzhaube oberhalb des SWS.
Öffnen Sie den Bajonettverschluss an der Zentriereinheit und nehmen Sie das Nadel-Kit aus
der Zentriereinheit heraus.
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Abb. 5.2 - 2 Nadel-Kit mit abgenommener Vakuumkappe
Legende
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Nehmen Sie die Vakuumkappe vom Nadel-Kit ab (1).
Lösen Sie die Madenschraube (2).
Setzen Sie die dem Produkt entsprechende Nadelmatrix ein.
Stecken Sie alle Nadeln vorsichtig in die Segmente und richten die Nadeln ungefähr in einer
Flucht aus.
Ziehen Sie die die Madenschrauben locker an. Die Nadeln müssen sich noch verschieben
lassen.
Führen Sie die nachfolgenden Einstellungen mit dem jeweiligen Kalibriernormal durch.
(1) Vakuumkappe (2) Madenschraube
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