FX-3R-Rev03 - 第158页
- 151 - 76. SYSTEM DIAGRAM (Z THETA POWER) ＳＹＳＴＥＭ ＤＩＡＧＲＡＭ （Ｚθ ＰＯＷＥＲ） 2-3A CNP1 ZTACNP1 SERVO AMP Z (LF-1) 5-1A 5-1B 2-3C CNP1 SERV O AMP Z (RF- 1) ZTACNP1 5-1B SERVO AMP Z (RF-2 ) 2-3C CNP1 ZTBCNP1 2-3C SERVO AMP Z (RF-3…
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NOTE( 注記 ) #01....TYPE XL ＸＬ 仕様
#02....FOR EN ＥＮ 用
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-47557 ETHER-SLAVE PCB ASM
ＥＴＨＥＲ − ＳＬＡＶＥ 基板組
3
2 401-19361 XY-RELAY PCB ASM
ＸＹ − ＲＥＬＡＹ 基板組
3
3 400-89927 ETHER CABL BC-XY ASM
イーサケーブル ＢＡＳＥＣＡＲＲＹ − ＸＹ 組
1
4 400-89928 ETHER CABLE XY-FDL ASM
イーサケーブル ＸＹ − ＦＤＬ 組
1
5 400-91918 XY-RELAY I/O CABLE ASM
ＸＹ − ＲＥＬＡＹ Ｉ ／ Ｏ ケーブル組
1
6 400-91884 HEAD I/O CABLE ASM
ヘッド Ｉ ／ Ｏ ケーブル組
1
7 400-82362 VACUUM I/O CABLE ASM
バキューム Ｉ ／ Ｏ ケーブル組
1
8 400-47500 XY BEAR CABLES D ASM
ＸＹ ベアケーブル Ｄ 組
4
9
#01
400-91884 HEAD I/O CABLE ASM
ヘッド Ｉ ／ Ｏ ケーブル組
4
10 400-47958 PWR UNIT I/O CABLE (L) ASM
パワーユニット Ｉ ／ Ｏ ケーブル（Ｌ）組
1
11 400-91881 PWR UNIT I/O CABLE (R) ASM
パワーユニット Ｉ ／ Ｏ ケーブル（Ｒ）組
1
12 400-47506 HEAD-MAIN PCB ASM
ＨＥＡＤ − ＭＡＩＮ 基板組
4
13 400-98974 POWER_SUPPLY_ASSY_L(ST)
電源供給組（左）ＳＴ
1
14
#02
400-93149 POWER SUPPLY ASSY L(EN)
電源供給組（左）ＥＮ
1
15 400-98950 POWER_SUPPLY_ASSY_R(ST)
電源供給組（右）ＳＴ
1
16
#02
400-93150 POWER SUPPLY ASSY R(EN)
電源供給組（右）ＥＮ
1
17 401-22663 AC POWER INPUT UNIT
ＡＣ 入力ユニット
1
18 400-48168 AIR PRESSURE SW ASM
正圧センサー組
1
19 400-02333 AIR PRESSURE METER ASM
エアプレッシャーメータ組
1
20 400-91855 XY-RELAY SENS CABLE (XL) ASM
ＸＹ − ＲＥＬＡＹ センサーケーブル（ＸＬ）組
1
21 400-47810 Y BEAR A CABLES ASM
Ｙ ベア Ａ ケーブル組
2
22
#01
400-89838 Y BEAR A CABLES ASM XL
Ｙ ベアケーブル Ａ 組 ＸＬ
2
23 400-47810 Y BEAR A CABLES ASM
Ｙ ベア Ａ ケーブル組
2
24
#01
400-89838 Y BEAR A CABLES ASM XL
Ｙ ベアケーブル Ａ 組 ＸＬ
2
25 400-47811 Y BEAR B CABLES ASM
Ｙ ベア Ｂ ケーブル組
2
26
#01
400-89839 Y BEAR B CABLES ASM XL
Ｙ ベアケーブル Ｂ 組 ＸＬ
2
27 400-02229 X ORG RANGE SENSOR ASM
Ｘ 軸原点周囲センサ組
8
28 400-47880 YC LIMIT SENSOR ASM
Ｙ Ｃ リミットセンサ組
2
29 400-48242 X PLUS LIMIT RELAY CABLE ASM
Ｘ プラス ＬＩＭＩＴ 中継ケーブル組
2
30 400-47882 X C LIMIT RELAY CABLE ASM
Ｘ センタチミット中継ケーブル組
1
3
1 400-47881 X POS LIMIT RELAY CABLE ASM
Ｘ プラスリミット中継ケーブル組
2
32 400-48241 X NEAR SENSOR RELAY CABLE ASM
Ｘ ニア中継ケーブル組
2
33 400-91856 XY-RELAY SENSOR CABLE (XR) ASM
ＸＹ − ＲＥＬＡＹ センサーケーブル（ＸＲ）
1
34 400-92736 XY-RELAY SENSOR RLY CABLE (YL) ASM
ＸＹ − ＲＬＹ センサ中継ケーブル（ＹＬ）組
1
35 400-92737 XY-RELAY SENSOR RLY CABLE (YR) ASM
ＸＹ − ＲＬＹ センサ中継ケーブル（ＹＲ）組
1
36 400-02228 X MINUS LMT SENSOR ASM
Ｘ 軸マイナスリミットセンサ組
4
37 400-02227 X PLUS LMT SENSOR ASM
Ｘ 軸プラスリミットセンサ組
8
- 151 -
76.SYSTEM DIAGRAM (Z THETA POWER)
ＳＹＳＴＥＭ ＤＩＡＧＲＡＭ（Ｚθ ＰＯＷＥＲ）
2-3A
CNP1
ZTACNP1
SERVO AMP
Z
(LF-1)
5-1A
5-1B
2-3C
CNP1
SERV O AMP
Z
(RF-1)
ZTACNP1
5-1B
SERVO AMP
Z
(RF-2)
2-3C
CNP1
ZTBCNP1
2-3C
SERVO AMP
Z
(RF-3)
5-2B
CNP1
ZTCCNP1
CN211
CN212
CN213
CN214
CN201
CN202
CN013
CN014
CN037
4-5C
CN037
CN014
CN013
3-2B
POWE R UNIT(R)
5-3B
SERVO AMP
Z
(RR-1)
2-5D
CNP1
ZTACNP1
2-5D
CNP1
SERVO AMP
Z
(RR-2)
5-4B
ZTBCNP1
2-5D
SERVO AMP
Z
(RR-3)
5-5B
CNP1
ZTCCNP1
CN212
CN213
CN214
CN211
CN202
CN201
POWER UNIT(R)
CN015
CN016
CN038
7-1A
CN038
CN016
CN015
4-3C
POWER UNIT(L)
4-3A
CN015
CN016
CN038
6-1A
CN015
CN01 6
CN038
CN202
CN201
CN211
CN21 2
CN21 3
CN214
ZTCCNP1
ZTBCNP1
2-5B
SERVO AMP
Z
(LR-3)
5-5A
CNP1
CNP1
2-5B
SERVO AMP
Z
(LR- 2)
5-4A
ZTACN P1
CNP1
2-5B
SERVO AMP
Z
(LR-1)
5-3A
POWER UNIT(L)
3-2B
CN013
CN014
CN037
4-5A
CN037
CN014
CN013
CN201
CN202
CN211
CN212
CN213
CN214
ZTCCNP1
CNP1
2-3A
SERVO AMP
Z
(LF-3)
5-2A
ZTBCNP1
CNP1
2-3A
SERVO AMP
Z
(LF-2 )
5-1A
11
1
1
11
2
3
4
5
6
5
6
7
8
9
2
3
4
5
6
5
6
7
10
11
2
1
1
5
6
1
8
9
3
4
5
6
12
12
2
5
6
5
6
1
1
4
3
1
10
11
- 152 -
NOTE( 注記 ) #01....TYPE XL ＸＬ 仕様
#02....FOR EN ＥＮ 用
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-44535 4AXIS SERVO AMP
４軸一体型サーボアンプ
12
2 400-47769 ZT PWR CABLE ASM A
ＺＴ 電源ケーブル Ａ 組
4
3 400-47770 ZT PWR CABLE ASM B
ＺＴ 電源ケーブル Ｂ 組
4
4 400-47771 ZT PWR CABLE ASM C
ＺＴ 電源ケーブル Ｃ 組
4
5 400-47500 XY BEAR CABLES D ASM
ＸＹ ベアケーブル Ｄ 組
8
6
#01
400-89837 XY BEAR CABLES D ASM XL
ＸＹ ベアケーブル Ｄ 組 ＸＬ
8
7 400-91525 ZT PWR F RELAY CABLE ASM
ＺＴ 電源 Ｆ 中継ケーブル組
2
8 400-98974 POWER_SUPPLY_ASSY_L(ST)
電源供給組（左）ＳＴ
2
9
#02
400-93149 POWER SUPPLY ASSY L(EN)
電源供給組（左）ＥＮ
2
10 400-98950 POWER_SUPPLY_ASSY_R(ST)
電源供給組（右）ＳＴ
2
11
#02
400-93150 POWER SUPPLY ASSY R(EN)
電源供給組（右）ＥＮ
2
12 400-91529 ZT PWR R RELAY CABLE ASM
ＺＴ 電源 Ｒ 中継ケーブル組
2