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4-13 4 4. 마 스 크 데이 터의 설 정 [ 인 쇄 ] - 「마스크 」탭화면에 서아래설정 항목 의확인과편 집 을합니다 . 4 . 1 마 스 크 마크와 파라 미 터의 설 정 [인쇄]-「마스크」탭 화면 [편집] 버튼 1 4 5 6 7 2 3 684 15-L3-0 0 1 . 마 스 크 피듀 셜 위 치맞춤용피 듀셜마크 를사 용할때 는 「 매 회인식 」이 나 「첫회 만인 …
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기판피듀셜과 로컬피듀셜
1. 기판피듀셜 인식을 실행하고
기판고정시, 틀어진 양의
보정량을 계산합니다.
2. 기판피듀셜 인식결과에 따른
기판고정의 틀어진 양을
보정하고, 사전에 등록된
로컬피듀셜 위치에서 마크를
인식합니다.
3. 기판에 늘어남도 틀어짐도 없을
경우는 로컬피듀셜의 인식
어긋남은 발생하지 않으나, 만일
늘어남 또는 틀어짐이 있을 경우,
로컬피듀셜의 인식 어긋남（XY
방향만）을 그대로 기판피듀셜
보정량에 더합니다.
기판
기판 피듀셜 로컬 피듀셜
67406-L3-00
참고
기판상에 중점적으로 양호한 인쇄정도를 확보하고자 하는 위치가 여러 개 있을 경우 , 각각에 로컬 피듀셜을 사용하면 , 각 로
컬 피듀셜의 마크인식 틀어짐의 평균이 보정량으로 사용됩니다 .
로컬 피듀셜의 설정
1 2 3 4 5
68414-L3 -0 0
1. No.
로컬피듀셜번호를표시합니다 .
2. 스킵
지정번호의로컬피듀셜기능을실행할지스킵할지를지정합니다 .실행할경우는체크박스를해제합니다 .
3. X(mm), Y(mm)
지정번호의로컬피듀셜마크의위치를설정합니다 .좌표의기준위치는기판피듀셜마크와동일합니다 .
4. 마크 No.
지정번호의로컬피듀셜마크인식에사용할마크번호를지정합니다 .
5. 명칭
마크No. 에지정한마크데이터의명칭이표시됩니다 .
c
주의
로컬피듀셜을사용하기위해서는반드시기판피듀셜을사용해야합니다 .기판피듀셜을「미사용」으로설정하면로컬피듀셜을
사용할수없습니다 .
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4. 마스크 데이터의 설정
[ 인쇄 ]-「마스크」탭화면에서아래설정항목의확인과편집을합니다 .
4.1 마스크 마크와 파라미터의 설정
[인쇄]-「마스크」탭 화면
[편집] 버튼
1 4 5 6
7
2 3
68415-L3-0 0
1. 마스크 피듀셜
위치맞춤용피듀셜마크를사용할때는「매회인식」이나「첫회만인식」으로 ,사용하지않을때는「미사용」으로설정합
니다 .「매회인식」을선택하면기판이반입될때마다마크인식을합니다 .「첫회만인식」을선택하면처음에반입된기
판에서만마크인식을합니다 .우측의[ 편집 ] 버튼을누르면아래의설정대화창이표시되므로 ,선택해주십시오 .
마스크 피듀셜 설정 대화창
68416 -L3-0 0
2. 피듀셜 타입
「마스크피듀셜」을「매회인식」이나「첫회만인식」으로설정하면이「피듀셜타입」（사용할마크수）를「1 포인트」~
「4 포인트」중에서선택해주십시오 .각마크의형상은달라도됩니다 .우측의[ 편집 ] 버튼을누르면 ,위그림과같은설
정대화창이표시되므로 ,선택해주십시오 .
마스크 피듀셜 타입(2포인트의 예)
마스크 원점
마스크 기준위치
마크1
(-X, Y)
마크2
(X, Y)
+X
+Y
67407-L3-00
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3. 피듀셜 위치
피듀셜마크의위치를기판과마스크를공통으로할지개별적으로설정할지를지정할수있습니다 .[ 편집 ] 버튼을누르면
위그림과같은설정대화창이표시되므로 ,선택해주십시오 .「기판 & 마스크개별지정」으로한경우는피듀셜마크위치 ,
피듀셜타입및기준위치가기판과마스크개별적으로지정할수있습니다 .
「기판 & 마스크공통지정」으로한경우는피듀셜마크위치 , 피듀셜타입및기준위치가기판과마스크공통지정이됩니다 .
이설정으로변경하면확인메시지가표시됩니다 .[OK] 버튼을누르면마스크피듀셜에서기판피듀셜로피듀셜마크위치 ,
피듀셜타입 ,기준위치의파라미터가복사됩니다 .
● 기판과 마스크의 위치맞춤
기판과마스크의양쪽에마크가있을경우 ,위치맞춤을하는방법으로다음의2 가지설정방법이있습니다 .
마스크 마크
■ 기판・마스크 위치가 동일 좌표상
■ 기판・마스크 위치가 다른 좌표상
기판마크
기판과 마스크의 마크위치
기판과 마스크 각각에 대해 이론적인
마크위치에서의 틀어진 양을 화상처리로
검출하고, 기판과 마스크 각각에 대응하는
마크가 일치되게 위치를 결정합니다.
기판과 마스크 각각에 대해 이론적인
마크위치에서의 틀어진 양을 화상처리로
검출하고, 기판중앙과 마스크중앙이 일치되게
위치를 결정합니다. 각도방향의 위치결정은
2점의 마크를 연결한 선이 마크의 이론위치를
연결한 선과 일치되도록, 그것을 기판과 마스크
양쪽에 대해 보정합니다
67404-L3-00
n
요점
피듀셜위치 , 피듀셜타입 및 기준위치를 기판 혹은 마스크중 한쪽에서 편집하거나 , 티칭에서 변경한 경우는 그 변경이 다른
한쪽에도 자동적으로 반영됩니다 .
4. X, Y（mm）
마스크피듀셜마크의마스크원점에서의XY 좌표（ｍｍ）를입력합니다 .[ 티칭 ] 버튼으로티칭입력할수도있습니다 .
참고
티칭의 자세한 내용에 대해서는 제 6 장「1. 티칭과 트레이스」를 참조해 주십시오 .
5. 마크 No.
피듀셜에사용하는마크번호（미리마크화면에서등록）를입력합니다 .
6. 명칭
「마크No.」를입력하면그마크의명칭（미리마크화면에서등록）이자동적으로표시됩니다 .