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4-15 4 7 . 마 스 크 파라 미터 마스크 파라미터 684 1 7-L3-0 0 A. 마 스 크 명 칭 마스크의명칭 을입 력 합니 다 . B. 마스 크 사이즈 마스크프레임 의사이 즈 （L × W ）를설정 합니 다 . C. 제판기 준 마스크를제 판했 을때 의기 준위치 를지 정 합니다 . 본장비의경 우는 「중앙 」 또는 「앞쪽 」제 판 기준에 서선 택 합니다 . …
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3. 피듀셜 위치
피듀셜마크의위치를기판과마스크를공통으로할지개별적으로설정할지를지정할수있습니다 .[ 편집 ] 버튼을누르면
위그림과같은설정대화창이표시되므로 ,선택해주십시오 .「기판 & 마스크개별지정」으로한경우는피듀셜마크위치 ,
피듀셜타입및기준위치가기판과마스크개별적으로지정할수있습니다 .
「기판 & 마스크공통지정」으로한경우는피듀셜마크위치 , 피듀셜타입및기준위치가기판과마스크공통지정이됩니다 .
이설정으로변경하면확인메시지가표시됩니다 .[OK] 버튼을누르면마스크피듀셜에서기판피듀셜로피듀셜마크위치 ,
피듀셜타입 ,기준위치의파라미터가복사됩니다 .
● 기판과 마스크의 위치맞춤
기판과마스크의양쪽에마크가있을경우 ,위치맞춤을하는방법으로다음의2 가지설정방법이있습니다 .
마스크 마크
■ 기판・마스크 위치가 동일 좌표상
■ 기판・마스크 위치가 다른 좌표상
기판마크
기판과 마스크의 마크위치
기판과 마스크 각각에 대해 이론적인
마크위치에서의 틀어진 양을 화상처리로
검출하고, 기판과 마스크 각각에 대응하는
마크가 일치되게 위치를 결정합니다.
기판과 마스크 각각에 대해 이론적인
마크위치에서의 틀어진 양을 화상처리로
검출하고, 기판중앙과 마스크중앙이 일치되게
위치를 결정합니다. 각도방향의 위치결정은
2점의 마크를 연결한 선이 마크의 이론위치를
연결한 선과 일치되도록, 그것을 기판과 마스크
양쪽에 대해 보정합니다
67404-L3-00
n
요점
피듀셜위치 , 피듀셜타입 및 기준위치를 기판 혹은 마스크중 한쪽에서 편집하거나 , 티칭에서 변경한 경우는 그 변경이 다른
한쪽에도 자동적으로 반영됩니다 .
4. X, Y（mm）
마스크피듀셜마크의마스크원점에서의XY 좌표（ｍｍ）를입력합니다 .[ 티칭 ] 버튼으로티칭입력할수도있습니다 .
참고
티칭의 자세한 내용에 대해서는 제 6 장「1. 티칭과 트레이스」를 참조해 주십시오 .
5. 마크 No.
피듀셜에사용하는마크번호（미리마크화면에서등록）를입력합니다 .
6. 명칭
「마크No.」를입력하면그마크의명칭（미리마크화면에서등록）이자동적으로표시됩니다 .
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7. 마스크 파라미터
마스크 파라미터
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A. 마스크 명칭
마스크의명칭을입력합니다 .
B. 마스크 사이즈
마스크프레임의사이즈（L× W）를설정합니다 .
C. 제판기준
마스크를제판했을때의기준위치를지정합니다 .
본장비의경우는「중앙」또는「앞쪽」제판기준에서선택합니다 .
제판기준
제판기준 위치
제판기준:중앙 앞쪽
기판 마스크 프레임
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D, E. 마스크 기준옵셋 X, Y
마스크의제판기준이 ,마스크「중앙」「앞쪽」의기준위치에서크게벗어나서마크인식이안될경우 ,그옵셋량을설정합
니다 .
제판기준 옵셋 X, Y(제판기준「중앙」의 예)
마스크 중앙
X-
X+
-Y
+Y
제판기준
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F. 마스크 기준위치
설정한마스크기준
•
마스크기준옵셋의위치를기준으로마스크상의설정좌표를기판의어느위치에서의좌표로설정할
지선택합니다 .아래의그림처럼「기판중앙」「기판전면중앙」「기판안쪽중앙」「기판전면좌측」「기판전면우측」「기판
안쪽좌측」「기판안쪽우측」중에서선택해주십시오 .초기값은「기판전면좌측」입니다 .
참고
마스크상의 설정좌표에는「마스크 원점 XY」「마스크 피듀셜」「마스크 검사좌표」가 있습니다 .
마스크 기준위치
마스크 기준위치
기판
마스크 프레임
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G, H. 마스크 원점 XY（mm）
마스크피듀셜좌표축의원점이마스크기준위치와다를경우마스크기준위치에서의옵셋량을설정합니다 .
마스크 원점
마스크 원점
마스크 기준위치
마스크 기준위치를「기판전면 좌측」으로 설정한 경우
기판
마스크 프레임
+Y
-Y
X+
X-
67411-L3-00
I. 마스크 흡착
마스크의뒷면을컨베이어레일면에흡착시켜서인쇄할때는「사용」으로 ,흡착시키지않을때는「미사용」으로설정합니
다 .마스크흡착에는아래와같은효과가있습니다 .
•
스퀴지 1 과2 의Y 방향의인쇄어긋남을없앤다 .
•
기판과마스크의밀착성이향상된다 .