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4-27 4 6. 클리너 데이 터 의 설 정 [ 인 쇄 ] - 「클리 너」탭화면 에서다음설정 항목 의확인과편 집 을합니 다 . [인쇄] -「클리너」탭 화면 68425-L3-0 0 ● 기판 수량 관 리 마스크클리 닝 을생 산한기판장수 로관리 할경 우에설정 합니 다 . C. 건 식 자 동 간 격(장 ） 건식자동클리 닝 을할때 의간격 ( 기판장수 ) 을설 정 합니다 …

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● 그래픽 위치맞춤 좌표
그래픽위치맞춤을할좌표를입력합니다 .그래픽위치맞춤좌표를설정한후[ 그래픽위치맞춤 ] 버튼을누르면「그래픽
위치맞춤」화면이열리고기판과마스크의겹침화상을보면서위치맞춤조정을할수있습니다 .그래픽위치맞춤의자세
한내용에대해서는본장「8. 그래픽위치맞춤」을참조해주십시오 .
그래픽 위치맞춤 좌표
[그래픽 위치맞춤]버튼
68424-L3- 0 0
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6. 클리너 데이터의 설정
[ 인쇄 ]-「클리너」탭화면에서다음설정항목의확인과편집을합니다 .
[인쇄] -「클리너」탭 화면
68425-L3-0 0
● 기판수량 관리
마스크클리닝을생산한기판장수로관리할경우에설정합니다 .
C. 건식자동간격(장）
건식자동클리닝을할때의간격 ( 기판장수 ) 을설정합니다 .
D. 건식자동반복 ( 회）
건식자동클리닝을할때의왕복횟수를설정합니다 .
e. 건식자동 스피드 (mm/sec)
건식자동클리닝시에클리너유니트가마스크아랫면을이동하는속도를설정합니다 .
F. 습식자동간격(장）
습식자동클리닝을할때의간격 ( 기판장수 ) 을설정합니다 .
G. 습식자동반복 ( 회）
습식자동클리닝을할때의왕복횟수를설정합니다 .
h. 습식자동 스피드 (mm/sec)
습식자동클리닝시에클리너유니트가마스크아랫면을이동하는속도를설정합니다 .
i. 수동간격 （장）
수동클리닝을할때의간격 ( 기판장수）을설정합니다 .「건식자동간격」이나「습식자동간격」의장수지정과겹칠경우는
수동클리닝이우선됩니다 .
n
요점
클리닝 방법이 중복됐을 때의 우선순위는「수동」→「습식자동」→「건식자동」으로 됩니다 .
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● 기판수량 관리의 상세설정
「클리닝상세설정」화면에서는 ,기판장수간격별 (「기판수량관리 1」탭 ~「기판수량관리 4」탭의최대4 종류 ) 로 ,최대
10 회분 (5 왕복 ) 의클리닝동작을실행할수가있습니다 .클리닝실행간격을「상세자동간격」에입력하고 ,각동작의「클
리닝타입」,「스피드」,「흡인」을설정해주십시오 .
또한 ,「클리닝타입」을「없음」으로설정하면 ,그이후의클리닝은실행하지않습니다 .
그리고 ,「상세자동간격」을「0」으로설정하면 ,그이후의기판수량관리탭의설정을전부무효로할수가있습니다 .
[인쇄] ー「클리너」탭 화면
[상세설정] 버튼
68446 -L3- 00
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설정항목
항목 초기값 입력 범위 내용
상세자동간격 ( 장 ) 0 0~9999
( 기판수량관리의경우에만 )
기판을몇장마다클리닝할것인지를설정합니다 .「0」으로
설정하면 ,그이후의기판수량관리탭의설정은무효입니다 .
클리닝타입 건식
건식
습식
없음
「건식」: 클리너거즈만으로클리닝을실행합니다 .
「습식」: 클리너거즈에용제를적신상태에서클리닝합니다 .
「없음」: 이행이후의클리닝은실행하지않습니다 .
스피드 (%) 100 1~10 0
클리닝시클리닝유닛이이동하는속도를설정합니다 .( 변경
한값은하기의「스피드 (mm/sec)」항목과연동합니다 .)
스피드 (mm/sec) 255 1~255
클리닝시클리닝유닛이이동하는속도를설정합니다 .( 변경
한값은상기의「스피드 (%)」항목과연동합니다 .)
흡인 사용
사용
미사용
「사용」: 클리닝시 ,마스크를흡인하면서클리닝유닛이이동
합니다 .
「미사용」: 클리닝시 ,마스크를흡인하지않고 ,클리닝유닛
이이동합니다 .
c
주의
습식클리닝시 ,「흡인」기능을「사용」으로설정하면 ,토출한용제가건조해버립니다 .기판선택시에[Ea8816데이터체크경고 ]
메시지가표시되므로 ,설정을변경해주십시오 .
[ 인쇄 ]-「클리너」탭의「건식자동간격 ( 장 )」,「습식자동간격 ( 장 )」,「수동간격 ( 장 )」란에값을입력하면 ,「상세설정」
의클리닝과병용할수가있습니다 .단 ,각자동간격및수동간격은대소관계를유지하도록설정해주십시오 .
( 건식 < 습식 < 기판수량관리 1< 기판수량관리 2< 기판수량관리 3< 기판수량관리 4< 수동간격 )
참고
클리닝 카운터의 값은 , [ 모니터 ]-「카운터」탭에서 확인할 수 있습니다 .