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4-28 4 ● 기판 수량 관 리의 상세 설정 「 클리 닝상 세설 정」 화 면에 서 는 ,기판장수간격별 ( 「기판수량관리 1 」 탭 ~ 「기판수량관리 4」 탭의최 대4 종류 ) 로 ,최대 1 0 회분 (5 왕복 ) 의클리 닝동작을실행 할수 가있 습 니 다 .클리 닝실행 간격 을 「 상 세자동간 격 」 에입 력 하 고 ,각동작 의 「클 리 닝타입 」, 「 …

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6. 클리너 데이터의 설정
[ 인쇄 ]-「클리너」탭화면에서다음설정항목의확인과편집을합니다 .
[인쇄] -「클리너」탭 화면
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● 기판수량 관리
마스크클리닝을생산한기판장수로관리할경우에설정합니다 .
C. 건식자동간격(장）
건식자동클리닝을할때의간격 ( 기판장수 ) 을설정합니다 .
D. 건식자동반복 ( 회）
건식자동클리닝을할때의왕복횟수를설정합니다 .
e. 건식자동 스피드 (mm/sec)
건식자동클리닝시에클리너유니트가마스크아랫면을이동하는속도를설정합니다 .
F. 습식자동간격(장）
습식자동클리닝을할때의간격 ( 기판장수 ) 을설정합니다 .
G. 습식자동반복 ( 회）
습식자동클리닝을할때의왕복횟수를설정합니다 .
h. 습식자동 스피드 (mm/sec)
습식자동클리닝시에클리너유니트가마스크아랫면을이동하는속도를설정합니다 .
i. 수동간격 （장）
수동클리닝을할때의간격 ( 기판장수）을설정합니다 .「건식자동간격」이나「습식자동간격」의장수지정과겹칠경우는
수동클리닝이우선됩니다 .
n
요점
클리닝 방법이 중복됐을 때의 우선순위는「수동」→「습식자동」→「건식자동」으로 됩니다 .
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● 기판수량 관리의 상세설정
「클리닝상세설정」화면에서는 ,기판장수간격별 (「기판수량관리 1」탭 ~「기판수량관리 4」탭의최대4 종류 ) 로 ,최대
10 회분 (5 왕복 ) 의클리닝동작을실행할수가있습니다 .클리닝실행간격을「상세자동간격」에입력하고 ,각동작의「클
리닝타입」,「스피드」,「흡인」을설정해주십시오 .
또한 ,「클리닝타입」을「없음」으로설정하면 ,그이후의클리닝은실행하지않습니다 .
그리고 ,「상세자동간격」을「0」으로설정하면 ,그이후의기판수량관리탭의설정을전부무효로할수가있습니다 .
[인쇄] ー「클리너」탭 화면
[상세설정] 버튼
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설정항목
항목 초기값 입력 범위 내용
상세자동간격 ( 장 ) 0 0~9999
( 기판수량관리의경우에만 )
기판을몇장마다클리닝할것인지를설정합니다 .「0」으로
설정하면 ,그이후의기판수량관리탭의설정은무효입니다 .
클리닝타입 건식
건식
습식
없음
「건식」: 클리너거즈만으로클리닝을실행합니다 .
「습식」: 클리너거즈에용제를적신상태에서클리닝합니다 .
「없음」: 이행이후의클리닝은실행하지않습니다 .
스피드 (%) 100 1~10 0
클리닝시클리닝유닛이이동하는속도를설정합니다 .( 변경
한값은하기의「스피드 (mm/sec)」항목과연동합니다 .)
스피드 (mm/sec) 255 1~255
클리닝시클리닝유닛이이동하는속도를설정합니다 .( 변경
한값은상기의「스피드 (%)」항목과연동합니다 .)
흡인 사용
사용
미사용
「사용」: 클리닝시 ,마스크를흡인하면서클리닝유닛이이동
합니다 .
「미사용」: 클리닝시 ,마스크를흡인하지않고 ,클리닝유닛
이이동합니다 .
c
주의
습식클리닝시 ,「흡인」기능을「사용」으로설정하면 ,토출한용제가건조해버립니다 .기판선택시에[Ea8816데이터체크경고 ]
메시지가표시되므로 ,설정을변경해주십시오 .
[ 인쇄 ]-「클리너」탭의「건식자동간격 ( 장 )」,「습식자동간격 ( 장 )」,「수동간격 ( 장 )」란에값을입력하면 ,「상세설정」
의클리닝과병용할수가있습니다 .단 ,각자동간격및수동간격은대소관계를유지하도록설정해주십시오 .
( 건식 < 습식 < 기판수량관리 1< 기판수량관리 2< 기판수량관리 3< 기판수량관리 4< 수동간격 )
참고
클리닝 카운터의 값은 , [ 모니터 ]-「카운터」탭에서 확인할 수 있습니다 .
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● 시간 관리
대기상태인경우에도일정한시간간격으로마스크클리닝을하고자할때설정합니다 .
예를들어「클리닝방법」을「자동」,「간격」을「10（분）」으로설정하면 ,마지막에인쇄또는클리닝한시점에서10 분
후에자동적으로클리닝을실행합니다 .
A. 클리닝 방법
마스크의클리닝방법을「자동」「수동」「미실행」중에서선택합니다 .「자동」을선택하면설정한조건에따라자동적으
로클리닝이실행됩니다 .
B. 자동 클리닝 타입
「습식」또는「건식」에서선택합니다 .
C . 간 격 ( 분）
자동클리닝을할때의시간간격 ( 분 ) 을설정합니다 .
D . 반 복 ( 회）
자동클리닝을할때의왕복횟수를설정합니다 .
e. 스피드 (mm/sec）
자동클리닝시에클리너유니트가마스크아랫면을이동하는속도를설정합니다 .
참고
장비가 리세트 상태 또는 [STOP] 버튼에 의한 정지중에도 시간관리가 실행됩니다만 , 운전의 재개상태에 따라 클리닝의 타이
밍이 다릅니다 .