YSP_Users_K - 第132页

4-29 4 ● 시간 관 리 대 기상태 인경 우에도일 정 한시 간간격 으로마스크클리 닝 을하 고자할때설정 합니 다 .  예 를들어 「클리 닝방 법」을 「자 동 」, 「간 격」을 「10 （분 ） 」으로설정 하면 ,마 지 막에인쇄또 는클리 닝한시 점에 서1 0 분 후에자 동적으로클 리 닝 을실 행 합니다 . A. 클 리닝 방법 마스크의클리 닝방법을 …

100%1 / 274
4-28
4
● 기판수량 관리의 상세설정
「클리닝상세설정」화면에서는 ,기판장수간격별 (「기판수량관리 1」탭 ~「기판수량관리 4」탭의최대4 종류 ) 로 ,최대
10 회분 (5 왕복 ) 의클리닝동작을실행할수가있습니다 .클리닝실행간격을「상세자동간격」에입력하고 ,각동작의「클
리닝타입」,「스피드」,「흡인」을설정해주십시오 .
또한 ,「클리닝타입」을「없음」으로설정하면 ,그이후의클리닝은실행하지않습니다 .
그리고 ,「상세자동간격」을「0」으로설정하면 ,그이후의기판수량관리탭의설정을전부무효로할수가있습니다 .
[인쇄] ー「클리너」탭 화면
[상세설정] 버튼
68446 -L3- 00
█
설정항목
항목 초기값 입력 범위 내용
상세자동간격 ( 장 ) 0 0~9999
( 기판수량관리의경우에만 )
기판을몇장마다클리닝할것인지를설정합니다 .「0」으로
설정하면 ,그이후의기판수량관리탭의설정은무효입니다 .
클리닝타입 건식
건식
습식
없음
「건식」: 클리너거즈만으로클리닝을실행합니다 .
「습식」: 클리너거즈에용제를적신상태에서클리닝합니다 .
「없음」: 이행이후의클리닝은실행하지않습니다 .
스피드 (%) 100 1~10 0
클리닝시클리닝유닛이이동하는속도를설정합니다 .( 변경
한값은하기의「스피드 (mm/sec)」항목과연동합니다 .)
스피드 (mm/sec) 255 1~255
클리닝시클리닝유닛이이동하는속도를설정합니다 .( 변경
한값은상기의「스피드 (%)」항목과연동합니다 .)
흡인 사용
사용
미사용
「사용」: 클리닝시 ,마스크를흡인하면서클리닝유닛이이동
합니다 .
「미사용」: 클리닝시 ,마스크를흡인하지않고 ,클리닝유닛
이이동합니다 .
c
주의
습식클리닝시 ,「흡인」기능을「사용」으로설정하면 ,토출한용제가건조해버립니다 .기판선택시에[Ea8816데이터체크경고 ]
메시지가표시되므로 ,설정을변경해주십시오 .
[ 인쇄 ]-「클리너」탭의「건식자동간격 ( 장 )」,「습식자동간격 ( 장 )」,「수동간격 ( 장 )」란에값을입력하면 ,「상세설정」
의클리닝과병용할수가있습니다 .단 ,각자동간격및수동간격은대소관계를유지하도록설정해주십시오 .
( 건식 < 습식 < 기판수량관리 1< 기판수량관리 2< 기판수량관리 3< 기판수량관리 4< 수동간격 )
참고
클리닝 카운터의 값은 , [ 모니터 ]-「카운터」탭에서 확인할 수 있습니다 .
4-29
4
● 시간 관리
대기상태인경우에도일정한시간간격으로마스크클리닝을하고자할때설정합니다 .
예를들어「클리닝방법」을「자동」,「간격」을「10（분）」으로설정하면 ,마지막에인쇄또는클리닝한시점에서10 분
후에자동적으로클리닝을실행합니다 .
A. 클리닝 방법
마스크의클리닝방법을「자동」「수동」「미실행」중에서선택합니다 .「자동」을선택하면설정한조건에따라자동적으
로클리닝이실행됩니다 .
B. 자동 클리닝 타입
「습식」또는「건식」에서선택합니다 .
C . 간 격 ( 분）
자동클리닝을할때의시간간격 ( 분 ) 을설정합니다 .
D . 반 복 ( 회）
자동클리닝을할때의왕복횟수를설정합니다 .
e. 스피드 (mm/sec）
자동클리닝시에클리너유니트가마스크아랫면을이동하는속도를설정합니다 .
참고
장비가 리세트 상태 또는 [STOP] 버튼에 의한 정지중에도 시간관리가 실행됩니다만 , 운전의 재개상태에 따라 클리닝의 타이
밍이 다릅니다 .
4-30
4
● 시간관리의 상세설정
[ 인쇄 ]-「클리너」-[ 시간관리 ] 항목의「클리닝방법」을「자동」으로하고 ,「자동클리닝타입」은「상세」로 ,클리닝을
실행하는시간간격을「간격 ( 분 )」에입력합니다 .
그후 ,[ 상세설정 ] 버튼을눌러서 ,「클리닝상세설정」화면의「시간관리」탭내의「클리닝타입」,「스피드」,「흡인」을설정
해주십시오 .또한 ,「시간관리」탭화면에는「상세자동간격」항목이없으므로 ,설정은1 종류만등록할수있습니다 .
[인쇄] ー「클리너」탭 화면
[상세설정] 버튼
68447-L3-00