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4-30 4 ● 시간 관 리의 상세설 정 [ 인쇄 ] - 「클리 너 」- [ 시간관리 ] 항목의 「클 리 닝방법」 을 「자 동 」 으로하 고 , 「자동 클리 닝타 입 」 은 「 상세 」 로 ,클리 닝 을 실 행 하 는시 간간격을 「간격 ( 분 ) 」 에입 력 합니 다 .  그 후 ,[ 상세설 정 ] 버 튼을눌러서 , 「클리 닝상세설 정 」 화 면 의 「 시간관리 」 탭내…

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● 시간 관리
대기상태인경우에도일정한시간간격으로마스크클리닝을하고자할때설정합니다 .
예를들어「클리닝방법」을「자동」,「간격」을「10（분）」으로설정하면 ,마지막에인쇄또는클리닝한시점에서10 분
후에자동적으로클리닝을실행합니다 .
A. 클리닝 방법
마스크의클리닝방법을「자동」「수동」「미실행」중에서선택합니다 .「자동」을선택하면설정한조건에따라자동적으
로클리닝이실행됩니다 .
B. 자동 클리닝 타입
「습식」또는「건식」에서선택합니다 .
C . 간 격 ( 분）
자동클리닝을할때의시간간격 ( 분 ) 을설정합니다 .
D . 반 복 ( 회）
자동클리닝을할때의왕복횟수를설정합니다 .
e. 스피드 (mm/sec）
자동클리닝시에클리너유니트가마스크아랫면을이동하는속도를설정합니다 .
참고
장비가 리세트 상태 또는 [STOP] 버튼에 의한 정지중에도 시간관리가 실행됩니다만 , 운전의 재개상태에 따라 클리닝의 타이
밍이 다릅니다 .
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● 시간관리의 상세설정
[ 인쇄 ]-「클리너」-[ 시간관리 ] 항목의「클리닝방법」을「자동」으로하고 ,「자동클리닝타입」은「상세」로 ,클리닝을
실행하는시간간격을「간격 ( 분 )」에입력합니다 .
그후 ,[ 상세설정 ] 버튼을눌러서 ,「클리닝상세설정」화면의「시간관리」탭내의「클리닝타입」,「스피드」,「흡인」을설정
해주십시오 .또한 ,「시간관리」탭화면에는「상세자동간격」항목이없으므로 ,설정은1 종류만등록할수있습니다 .
[인쇄] ー「클리너」탭 화면
[상세설정] 버튼
68447-L3-00
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7. 마크 데이터의 작성
기판이나마스크피듀셜에서사용하는마크데이터의작성방법을설명합니다 .마크데이터는등록된마크마다아
래의그림과같이각종파라미터를가지고있습니다 .직접설정하지않는파라미터는보조조정 ( 조정）으로확인
하면서최적치를구합니다 .
마크데이터의 파라미터 구성
마크명
코멘트
(마크타입)
표면타입
인식타입
마크경계값
마크인식공차
마크검출범위 XY
외륜조명레벨
내륜조명레벨
동축조명레벨
IR외륜조명레벨
IR내륜조명레벨
마크외 노이즈 컷트 수
마크내 노이즈 컷트 수
마크타입
데이터베이스
형상타입
마크외형
(마크외형 X)
(마크면적)
(마크주변길이)
67419-L3-00
참고
표시되는 파라미터는 선택한「형상타입」등에 의해 달라집니다 .