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4-31 4 7. 마크 데이 터 의 작성 기 판이 나마스크피 듀셜에 서사용하는마크 데 이 터 의작성 방 법 을설 명 합니다 .마크 데 이 터 는등록된마 크마다아 래 의그 림 과같이각종파라미 터 를가 지 고있 습니 다 .직접설 정 하 지않 는파라미 터 는보조조정 ( 조정 ） 으로확 인 하면서최 적 치 를구 합니 다 . 마크데이터의 파라미터 구성 마크명…

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● 시간관리의 상세설정

[ 인쇄 ]-「클리너」-[ 시간관리 ] 항목의「클리닝방법」을「자동」으로하고 ,「자동클리닝타입」은「상세」로 ,클리닝을

실행하는시간간격을「간격 ( 분 )」에입력합니다 .

그후 ,[ 상세설정 ] 버튼을눌러서 ,「클리닝상세설정」화면의「시간관리」탭내의「클리닝타입」,「스피드」,「흡인」을설정

해주십시오 .또한 ,「시간관리」탭화면에는「상세자동간격」항목이없으므로 ,설정은1 종류만등록할수있습니다 .

[인쇄] ー「클리너」탭 화면

[상세설정] 버튼

68447-L3-00

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7. 마크 데이터의 작성

기판이나마스크피듀셜에서사용하는마크데이터의작성방법을설명합니다 .마크데이터는등록된마크마다아

래의그림과같이각종파라미터를가지고있습니다 .직접설정하지않는파라미터는보조조정 ( 조정）으로확인

하면서최적치를구합니다 .

마크데이터의 파라미터 구성

마크명

코멘트

(마크타입)

표면타입

인식타입

마크경계값

마크인식공차

마크검출범위 XY

외륜조명레벨

내륜조명레벨

동축조명레벨

IR외륜조명레벨

IR내륜조명레벨

마크외 노이즈 컷트 수

마크내 노이즈 컷트 수

마크타입

데이터베이스

형상타입

마크외형

(마크외형 X)

(마크면적)

(마크주변길이)

67419-L3-00

참고

표시되는 파라미터는 선택한「형상타입」등에 의해 달라집니다 .

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7.1 작성순서

버튼에리어의 [ 마크 ] 버튼을 누르면 , 아래 그림과 같이 마크화면이 열립니다 . 화면상부의 데이터 No.행에

「마크명」과「코멘트」를 입력하고 , 하부의 리스트에 각종 파라미터를 설정합니다 .

[ 마크 ] 버튼을 눌러서 , 마크화면을 표시합니다 .

Step 2 Step 1 Step 3

Step 5

Step 4Step 7

마크화면

68426-L3- 00

마크의「명칭」을 입력합니다 .

마크별로구별이되는이름을20 자내외의영숫자로입력합니다 .스페이스는사용할수없습니다 .

「코멘트」를 입력합니다 .

필요에따라코멘트를입력합니다 .( 입력하지않아도상관없습니다 .)

각종 파라미터를 설정합니다 .

「기본」「형상」「인식」탭을선택하면서화면의우측하단에표시되는리스트에파라미터를설정합니다 .

[D/B] 버튼을누르고「마크데이터베이스일람」화면을열고데이터베이스에서파라미터치를복사할수

도있습니다 .이경우복사한데이터베이스번호가「데이터베이스번호」란에표시됩니다 .

（본장「7.2~7.4」를참조해주십시오 .）

보조조정을 실행합니다 .

[ 마크조정 ] 버튼을눌러서설정한파라미터의확인및조정작업 (「보조조정」이라고함 ) 을실행합니다 .

( 본장「7.5」를참조하여주십시오 .)

상기의 작업을 반복합니다 .

피듀셜에사용하는모든마크에대하여상기의작업을실행하여주십시오 .

데이터를 저장합니다 .

버튼에리어의[ 기판저장 ]버튼을눌러서데이터를저장하여주십시오 .