YSP_Users_K - 第135页
4-32 4 7.1 작성 순서 버튼에 리 어 의 [ 마크 ] 버튼을 누 르면 , 아 래 그 림 과 같 이 마크 화면 이 열 립 니다 . 화면상부의 데 이 터 No. 행에 「마크명 」과 「코멘트 」를 입 력하 고 , 하 부의 리 스 트 에 각종 파 라미터 를 설정 합니 다 . 1 [ 마크 ] 버튼 을 눌러서 , 마크 화면을 표 시 합니다 . Step 2 Step 1 Step 3 Step 5 S…
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7. 마크 데이터의 작성
기판이나마스크피듀셜에서사용하는마크데이터의작성방법을설명합니다 .마크데이터는등록된마크마다아
래의그림과같이각종파라미터를가지고있습니다 .직접설정하지않는파라미터는보조조정 ( 조정）으로확인
하면서최적치를구합니다 .
마크데이터의 파라미터 구성
마크명
코멘트
(마크타입)
표면타입
인식타입
마크경계값
마크인식공차
마크검출범위 XY
외륜조명레벨
내륜조명레벨
동축조명레벨
IR외륜조명레벨
IR내륜조명레벨
마크외 노이즈 컷트 수
마크내 노이즈 컷트 수
마크타입
데이터베이스
형상타입
마크외형
(마크외형 X)
(마크면적)
(마크주변길이)
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참고
표시되는 파라미터는 선택한「형상타입」등에 의해 달라집니다 .
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7.1 작성순서
버튼에리어의 [ 마크 ] 버튼을 누르면 , 아래 그림과 같이 마크화면이 열립니다 . 화면상부의 데이터 No.행에
「마크명」과「코멘트」를 입력하고 , 하부의 리스트에 각종 파라미터를 설정합니다 .
1
[ 마크 ] 버튼을 눌러서 , 마크화면을 표시합니다 .
Step 2 Step 1 Step 3
Step 5
Step 4Step 7
마크화면
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2
마크의「명칭」을 입력합니다 .
마크별로구별이되는이름을20 자내외의영숫자로입력합니다 .스페이스는사용할수없습니다 .
3
「코멘트」를 입력합니다 .
필요에따라코멘트를입력합니다 .( 입력하지않아도상관없습니다 .)
4
각종 파라미터를 설정합니다 .
「기본」「형상」「인식」탭을선택하면서화면의우측하단에표시되는리스트에파라미터를설정합니다 .
[D/B] 버튼을누르고「마크데이터베이스일람」화면을열고데이터베이스에서파라미터치를복사할수
도있습니다 .이경우복사한데이터베이스번호가「데이터베이스번호」란에표시됩니다 .
（본장「7.2~7.4」를참조해주십시오 .）
5
보조조정을 실행합니다 .
[ 마크조정 ] 버튼을눌러서설정한파라미터의확인및조정작업 (「보조조정」이라고함 ) 을실행합니다 .
( 본장「7.5」를참조하여주십시오 .)
6
상기의 작업을 반복합니다 .
피듀셜에사용하는모든마크에대하여상기의작업을실행하여주십시오 .
7
데이터를 저장합니다 .
버튼에리어의[ 기판저장 ]버튼을눌러서데이터를저장하여주십시오 .
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7.2 기본 파라미터
「기본」탭에서는 「마크타입」을 설정합니다 .
기본 파라미터
1 2
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1. 마크타입
기판피듀셜마크를작성할때에는「기판피듀셜」,마크피듀셜마크를작성할때에는「마스크피듀셜」을드롭다운리스
트에서선택합니다 .
2. 데이터베이스
데이터베이스로부터마크의파라미터값을복사할수가있습니다 .[D/B] 버튼을누르면 ,「마크데이터베이스일람」화면
이열립니다 .복사할마크데이터를선택하고 ,[ 세팅 ] 버튼을누르면복사됩니다 .「데이터베이스번호」란에는 ,복사원
데이터베이스번호가표시됩니다 .
데이터베이스 일람
[세팅]버튼
[세팅]버튼
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